&

高分辯率X光衍射儀、ICP刻蝕機招標公告

信息發布日期：2007.03.29 標簽：山東省招標

加入日期：	2007.03.29
截止日期：	2007.04.03
招標業主：	中微光電子（濰坊）有限公司光電子研究院
招標代理：	濰坊市高新區政府采購中心;濰坊市魯成招標有限公司
地區：	山東省

招標公告正文

采購人名稱:濰坊市高新區政府采購中心
地址:***
聯系方式***
采購代理機構名稱:濰坊市魯成招標有限公司
地址:***
聯系方式***
招標項目名稱、用途、數量、簡要技術要求或招標項目的性質：
1、項目名稱：中微光電子（濰坊）有限公司光電子研究院設備采購。
2、招標內容：包一：高分辯率X光衍射儀，數量一臺；包二：ICP刻蝕機，數量一臺。
3、設備簡介：3.1 高分辯率X光衍射儀：用于檢測外延薄膜的組成，結構和質量，可測試GaAs, InP, GaN, Si, SiGe等材料外延片。主要參數要求：角度分辨率: 0.00005度測角重現性:+-0.0001度。
3.2 ICP刻蝕機主要參數要求：ICP功率>1000W，RF功率>300W，腔壓可控制在1mTorr，刻蝕速率>1um/min，均勻度：+/-5%。
4、供應商資格要求：4.1設備制造商或代理商的正式授權；4.2在國內有獨立維修服務中心或服務部門。
本項目聯系人：姚永華   趙清波    聯系電話：0536—8875351、8875381    電子郵箱*** wfzb123@163.com
其他：
1、報名時間：2007年3月30日至2007年4月3日。地點：濰坊市魯成招標有限公司（地址：***
2、報名時需攜帶企業營業執照、生產或銷售許可復印件。
3、獲取招標文件時間：2007年4月3日開始（上午9:00至下午5:00）。獲取方式：現場發售。

二ОО七年三月二十九日

此業主發布的其它公告

地區導航: 華東: 上海　江蘇　浙江　安徽　福建　江西　山東

華北: 北京　天津　河北　山西　內蒙古

東北: 遼寧　吉林　黑龍江

華南: 廣東　廣西　海南

西北: 陜西　甘肅　青海　寧夏　新疆

西南: 重慶　四川　貴州　云南　西藏

華中: 河南　湖北　湖南