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ITO鍍膜機、電子束鍍膜機招標(biāo)公告
- 信息發(fā)布日期：2007.05.18 標(biāo)簽： 山東省招標(biāo) 濰坊市招標(biāo)
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加入日期： 2007.05.18 截止日期： 2007.05.25 招標(biāo)業(yè)主： 中微光電子（濰坊）有限公司光電子研究院 招標(biāo)代理： 濰坊市高新區(qū)政府采購中心;濰坊市魯成招標(biāo)有限公司 地 區(qū)： 濰坊市 -
招標(biāo)公告正文
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采購人名稱:濰坊市高新區(qū)政府采購中心
地址:濰坊市高新區(qū)北宮東街173號 聯(lián)系方式***
采購代理機構(gòu)名稱:濰坊市魯成招標(biāo)有限公司
地址:濰坊市勝利東街1982號 聯(lián)系方式***
招標(biāo)項目名稱、用途、數(shù)量、簡要技術(shù)要求或招標(biāo)項目的性質(zhì)：
1、項目名稱：中微光電子（濰坊）有限公司光電子研究院設(shè)備采購。
2、招標(biāo)內(nèi)容：包一：ITO鍍膜機，數(shù)量一臺；包二：電子束鍍膜機（金屬），數(shù)量一臺。
3、設(shè)備簡介：
3.1 ITO鍍膜機主要參數(shù)要求：真空腔：≥?630mm?H850mm，基準(zhǔn)腔壓：<2?10-7torr，工作起始腔壓：<3?10-6torr、達(dá)到起始腔壓的時間<25min，夾具：3個行星盤、轉(zhuǎn)速5-20rpm、裝片111片2”基片，基片加熱：最高到350+/-5oC,電子槍：≥6KW（電壓：8KV，10KV）,電子束掃描控制,蒸鍍材料坩堝：4-6個、25cc。
3.2 電子束鍍膜機主要參數(shù)要求：真空腔：≥?450mm?H620mm，基準(zhǔn)腔壓：<3?10-7torr，工作起始腔壓：<3?10-6torr、達(dá)到起始腔壓的時間<30min，夾具：1個基片承載盤、lift-off工藝布局、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動、轉(zhuǎn)速5-25rpm、裝片40-50片2”基片、2個備用基片承載盤，基片加熱：最高到200+/-5oC，電子槍：6KW，（電壓：8KV，10KV），電子束掃描控制，蒸鍍材料坩堝：≥6個、 15cc-25cc。
4、供應(yīng)商資格要求：4.1設(shè)備制造商或代理商的正式授權(quán)；4.2在國內(nèi)有獨立維修服務(wù)中心或服務(wù)部門。
本項目聯(lián)系人：姚永華 趙清波 聯(lián)系電話：0536—8875351、8875381 電子郵箱***
其他：
1、報名時間：2007年5月18日至2007年5月24日。地點：濰坊市魯成招標(biāo)有限公司（地址：***
2、報名時需攜帶企業(yè)營業(yè)執(zhí)照、生產(chǎn)或銷售許可復(fù)印件。
3、獲取招標(biāo)文件時間：2007年5月25日開始（上午9:00至下午5:00）。獲取方式：現(xiàn)場發(fā)售。
4、具體要求詳見招標(biāo)文件。
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