感應耦合等離子刻蝕機招標公告

浙江大學采購中心對 感應耦合等離子刻蝕機 項目進行競爭性談判采購。歡迎國內有能力的供應商參加談判。
1 、采購項目 ： 感應耦合等離子刻蝕機 。
2 、采購編號： ZUPC -JZ -0705013 。
主要 技術要求 ：
1 、 RF 功率：反射功率低于 5 ％或 10W ；
2 、真空度：抽真空 12 小時后小于 7 × 10 － 7 torr ；
3 、加工氣體： Cl 2 ， CH 4 , H 2 , Ar 等 ；
4 、清洗氣體： SF 6 , O 2 ；
5 、刻蝕速率： >0.3 μ m/min ；
6 、均 勻 性： < ± 4% （ 2 ” 晶片） ；
7 、選 擇 性： >15:1( 相對于 SiO 2 或 SiNx 掩模 ) ；
8 、 剖面控制：垂直度 90 °± 1 ° 。
3 、參加談判廠（商）家的資格要求：國內具有獨立法人資格，有相當的技術力量和經濟實力，售后服務能力強，社會信譽好，注冊資金 200 萬元 人民幣（含）以上的供應商均可參加。
4 、購買談判文件時間： 即日起 至 2007 年5 月29 日 （上午 9 ： 00 — 11 ： 30 ；下午 1 ： 30 — 4 ： 30 ，雙休日不上班）。
5 、談判文件的購買
（ 1 ）采購文件價格每本 800 元（采購文件售后不退） ，憑單位營業執照副本復印件（加蓋公章）購買。
（ 2 ）購買地點：浙江大學采購中心（浙江大學紫金港校區東四 A117 室）
（ 3 ）聯系人***
（ 4 ）聯系電話***
6 、談判響應文件遞交截止時間： 2007 年 5 月 30 日 上午 9 時。
7 、參加談判的供應商在 2007 年 5 月 30 日 上午 9 時前應將貳萬元保證金交至浙江大學采購中心（浙江大學紫金港校區東四 A117 室）。
8 、 自成交公告發出五個工作日后，請未成交單位開具收款收據（有財政或稅務機關監制章）到浙江大學采購中心辦理投標保證金的退還手續。
9 、談判時間： 2007 年 5 月 30 日 上午 9 時正，地點：浙江大學紫金港校區東四 156 室。