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高溫高真空直流射頻混合磁控濺射臺招標(biāo)公告
- 信息發(fā)布日期：2009.06.26 標(biāo)簽： 浙江省招標(biāo) 杭州市招標(biāo)
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招標(biāo)編號： ZUPC-JZ -0907004 加入日期： 2009.06.26 截止日期： 2009.07.01 地 區(qū)： 杭州市 內(nèi) 容： 高溫高真空直流射頻混合磁控濺射臺 一臺 主要技術(shù)要求： 1 、基片尺寸： ≤Φ3 英寸。 2 、基片加熱溫度：室溫～ 1000℃ 。溫度可用電腦編程控制，可控可調(diào)。 3 、電懸浮基片架：可加熱、可旋轉(zhuǎn)、可升降。 4 、 Ф2 英寸磁控濺射永磁靶，靶頭可調(diào)角度；可鍍鐵磁材料的磁控濺射靶 1 支，可鍍普通靶材的磁控濺射靶 2 支。 5 、極限真空： 10-6Pa ，關(guān)機 12 小時真空度 ≤10Pa 。 6 、磁控濺射靶電源： 2 個射頻源 500W ；一個直流濺射電源 500W 。 7 、質(zhì)量流量控制器：氬氣（ 100sccm ）、氧氣（ 50sccm ）、氮氣（ 200sccm ）。 8 、缺水欠壓檢測與保護、強電相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統(tǒng)檢測與保護。 9 、 PLC 可編程智能電腦控制系統(tǒng)，配液晶觸摸屏。 -
招標(biāo)公告正文
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高溫高真空直流射頻混合磁控濺射臺 采購公告
公告發(fā)布日期：2009年6月25日
浙江大學(xué)采購中心對《 高溫高真空直流射頻混合磁控濺射臺 》項目進行競爭性談判采購，歡迎國內(nèi)有能力的供應(yīng)商參加談判。
1 、采購項目 ： 高溫高真空直流射頻混合磁控濺射臺 。
標(biāo)項： 高溫高真空直流射頻混合磁控濺射臺 一臺
主要技術(shù)要求：
1 、基片尺寸： ≤Φ3 英寸。
2 、基片加熱溫度：室溫～ 1000℃ 。溫度可用電腦編程控制，可控可調(diào)。
3 、電懸浮基片架：可加熱、可旋轉(zhuǎn)、可升降。
4 、 Ф2 英寸磁控濺射永磁靶，靶頭可調(diào)角度；可鍍鐵磁材料的磁控濺射靶 1 支，可鍍普通靶材的磁控濺射靶 2 支。
5 、極限真空： 10-6Pa ，關(guān)機 12 小時真空度 ≤10Pa 。
6 、磁控濺射靶電源： 2 個射頻源 500W ；一個直流濺射電源 500W 。
7 、質(zhì)量流量控制器：氬氣（ 100sccm ）、氧氣（ 50sccm ）、氮氣（ 200sccm ）。
8 、缺水欠壓檢測與保護、強電相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統(tǒng)檢測與保護。
9 、 PLC 可編程智能電腦控制系統(tǒng)，配液晶觸摸屏。
2 、采購編號： ZUPC-JZ -0907004 。
3 、參加談判廠（商）家的資格要求：（ 1 ）國內(nèi)具有獨立法人資格；（ 2 ）有相當(dāng)?shù)募夹g(shù)力量和經(jīng)濟實力；（ 3 ）售后服務(wù)能力強；（ 4 ）社會信譽好；（ 5 ）注冊資金 50 萬元 人民幣（含）以上的供應(yīng)商均可參加。
4 、購買采購文件時間： 2009 年 6 月 26 日至 2009 年 7 月 1 日 （上午 9 ： 00 — 11 ： 30 ；下午 1 ： 30 — 4 ： 30 上班， 5 月 28 日至 5 月 30 日放假不上班，不發(fā)售標(biāo)書）。
5 、談判文件的購買
（ 1 ）采購文件價格每本 500 元（售后不退） ，憑單位營業(yè)執(zhí)照副本復(fù)印件（加蓋公章）購買。
（ 2 ）購買地點：浙江大學(xué)采購中心（浙江大學(xué)紫金港校區(qū)東四 139 室）
（ 3 ）聯(lián)系人***
（ 4 ）聯(lián)系電話： 0571-88981325 ；傳真：***
6 、談判響應(yīng)文件遞交截止時間： 2009 年 7 月 2 日 下午 1 時 30 分 。
7 、參加談判的供應(yīng)商在 2009 年 7 月 2 日 下午 1 時 30 分 前應(yīng)將貳萬元保證金交至浙江大學(xué)采購中心（浙江大學(xué)紫金港校區(qū)東四 139 室）。
8 、 自成交公告發(fā)出五個工作日后，請未成交單位開具收款收據(jù)（有財政或稅務(wù)機關(guān)監(jiān)制章）到浙江大學(xué)采購中心辦理談判響應(yīng)保證金的退還手續(xù)。
9 、 談判時間： 2009 年 7 月 2 日 下午 1 時 30 分 正，地點：浙江大學(xué)紫金港校區(qū)東四 156 室。
10 、監(jiān)督單位： 浙江大學(xué)監(jiān)察處；電話 :***
11 、 通訊地址：***
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客戶咨詢:400-633-1888 信息發(fā)布電話:13030031390 總部地址:北京市海淀區(qū)彩和坊路10號 1+1大廈2層(100190)
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