惰性氣體手套箱、光刻設備招標公告

受浙江大學委托，杭州求是招標代理有限公司對 以下 項目進行競爭性談判采購。歡迎國內外有能力的供應商參加談判。

一、采購編號： z6984 、 z7089

二、采購項目： 惰性氣體手套箱、光刻設備

三、技術指標：

設備名稱
 技術指標
 數量
 
惰性氣體手套箱（ z6984 ）
 三只手，單面操作；

惰性氣體環境，獨立控制系統；

可再生氣體純化系統；

西門子 PLC 控制單元 , 壓力自動控制；

含一套水分析儀、一套氧分析儀， H 2 O < 1 ppm ， O 2 < 1 ppm ；

一套有機溶劑吸附系統；一套大艙加熱系統，可加熱過渡艙；一套除靜電裝置。
 1 臺
 
光刻設備（ z7089 ）
 該機主要用于半導體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機械系統（ MEMS ）等制作的對準和曝光。適用于直徑 100mm 以下，厚度為５ mm 以下各種基片的光刻。

對準精度：± 0.5 μm

微動臺掃描范圍：± 20 mm, X 、 Y 可調范圍±４ mm

承片臺上下可移動范圍為５ mm, 旋轉角度最大為 90 °

采用多點光源曝光頭，光源采用超高壓直流球形汞燈，風冷，光的不均勻性≤±６％，最大出射光束為 Ф120mm

視場顯微鏡：雙目分離，放大倍數 50X × 375X( 可采用雙 CCD 加液晶監示器來顯示，放大倍數 67.5X × 420X)
 1 臺 
 

四、參加談判供應商的資格要求：

符合《中華人民共和國政府采購法》對合格的談判響應方的要求，具有良好信譽和售后服務能力的企業和供應商。

五、談判文件的發售：

1 、日期： 2009 年 12 月 14 日至 2009 年 12 月 24 日（雙休日及法定節假日除外）

2 、時間：上午 8 ： 30-11 ： 30 、下午 13 ： 30-17 ： 00

3 、地點：杭州求是招標代理有限公司（浙江大學玉泉校區設備樓 301 ，杭州市西湖區浙大路 38 號）。

4 、談判文件售價： 300 元人民幣，售后不退。

5 、參加談判供應商購買談判文件時應出具的資料：

a ）企業營業執照副本

b ）資質等級證書副本（如有）

c ）法定代表人授權委托書

d ）被授權人身份證

h ）其他資料

6 、聯系人***

電話： 0571-88981888 ， 傳真：***

六、談判響應文件遞交截止日期： 2009 年 12 月 25 日上午 9:00

七、談判時間： 2009 年 12 月 25 日上午 9:00

八、談判地點： 杭州求是招標代理有限公司（浙江大學玉泉校區設備樓 301 ，杭州市西湖區浙大路 38 號）

九、談判保證金：

10000 元（壹萬元人民幣），于開標前在杭州求是招標代理有限公司（浙江大學玉泉校區設備樓 301 室，杭州市西湖區浙大路 38 號）交納。

交付方式 : 現金 / 匯票 / 支票 / 銀行轉帳

收款單位（戶名） : 杭州求是招標代理有限公司

開戶銀行：工行浙大支行

銀行賬號： 1202024609900033043