掩膜板清洗機(jī)招標(biāo)公告

項目名稱：掩膜板清洗機(jī)
日期：2010年02月20日
招標(biāo)編號：0730-1040GD040203
中航技國際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司受買方委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)。 本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo) 方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：
0730-1040GD040203/04
* 7.4.6.5 系統(tǒng)電壓偏差：≤80uV
* 7.4.6.6 系統(tǒng)漏電流：≤0.1pA
* 7.4.6.7 系統(tǒng)阻抗殘留: 0.6Ω

0730-1040GD040203/05
* 7.3.1.2 最大的處理能力:≥1800 SLPM
* 7.3.1.3 處理腔體:1個主腔體和一個旁通小腔體
* 7.3.1.4 單一藥劑桶的吸附劑儲藏能力：≥120L
* 7.3.1.5 每升化學(xué)吸附劑的吸附單一氣體的能力: ≥35L (分別吸附BF3或PH3氣體)

0730-1040GD040203/06
* 7.3.1.5 升溫速率：10~150℃/sec（可編程）
* 7.3.1.6 降溫速率：10~150℃/sec（可編程）
* 7.3.1.7 溫度控制精確度：±1℃

0730-1040GD040203/07
* 7.5.7 節(jié)拍時間：≤15分鐘；
* 7.5.8 節(jié)拍時間可以設(shè)置
* 7.5.9 稼動率：≥95%


2、招標(biāo)文件售價：04-RMB500.00 or USD80.00 05-RMB500.00 or USD80.00 06-RMB500.00 or USD80.00 07-RMB1500.00 or USD230.00
3、購買招標(biāo)文件時間：2010年02月20日至2010年03月12日 9時至16時 節(jié)假日除外
4、購買招標(biāo)文件地點：北京市朝陽區(qū)慧忠路５號遠(yuǎn)大中心Ｂ座２０層
5、投標(biāo)截止時間和開標(biāo)時間：2010-03-12 01:51
6、開標(biāo)地點：上海天馬微電子有限公司
地 址：***
郵編：200201
電子郵箱***
電話：***
傳真：***
聯(lián)系人***
開戶銀行（人民幣）：招行亞運村支行
開戶銀行（美元）：中國銀行總行營業(yè)部
帳 號（人民幣）：860783419210001
帳 號（美　元）：00289708094001 SWIFT CODE：BKCHCNBJ00289708094001 SWIFT CODE：BKCHCNBJ