300毫米晶圓枚葉式晶圓再生設備(銅后段工藝)等招標公告

招標編號：0705-104010220313
上海國際招標有限公司受買方委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標。 本次招標采用傳統招標 方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標產品的名稱、數量及主要技術參數：
品目1：300毫米晶圓枚葉式背面清洗設備(銅區光刻前清洗)Backside Clean (Cu before Photo) 1臺
品目2：300毫米晶圓枚葉式鋁線及通孔清洗設備(后段工藝)Metal Clean 1臺
品目3：300毫米晶圓枚葉式鋁PAD清洗設備(銅后段工藝)Post Polymer Removal (BEOL-Al) 1臺
品目4：300毫米晶圓枚葉式聚合體(polymer)清洗設備(后段工藝銅線) Post Polymer Removal (BEOL-Cu) 1臺
品目5：300毫米晶圓枚葉式晶圓再生設備(銅后段工藝) Cu recycle(BEOL) 1臺

2、招標文件售價：3000.00
3、購買招標文件時間：2010年6月4日起每天（節假日除外）9:00時至16:00時（北京時間）
4、購買招標文件地點：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓
5、投標截止時間和開標時間：2010-06-24 14:30
6、開標地點：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓
地 址：***
郵編：200040
電子郵箱***
電話：***
傳真：***
聯系人***
開戶銀行（人民幣）：招商銀行曹家渡支行
開戶銀行（美元）：上海浦東發展銀行陸家嘴支行
帳 號（人民幣）：096880-215080920510001上海國際招標有限公司
帳 號（美　元）：98061455200000060