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氮化膜去除裝置等設(shè)備招標(biāo)公告
- 信息發(fā)布日期：2010.06.04 標(biāo)簽： 上海市招標(biāo)
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招標(biāo)編號： 0705-104010220311 加入日期： 2010.06.04 截止日期： 2010.06.24 招標(biāo)代理： 上海國際招標(biāo)有限公司 地 區(qū)： 上海市 內(nèi) 容： 01 品目1：300毫米晶圓濕法槽式氮化膜去除裝置(前工程) Nitride Removal (FEOL) 1臺 品目2：300毫米晶圓濕法槽式氧化膜刻蝕裝置(前工程) Oxide Wet Etch 1臺 品目3：300毫米晶圓濕法槽式洗凈裝置(擴(kuò)散爐前洗凈工藝) Pre-furnace Clean 2臺 02噴霧式旋轉(zhuǎn)清洗機(jī)Ni Clean 1臺 03300毫米銅電鍍設(shè)備Electric Cu Plate 1臺 -
招標(biāo)公告正文
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招標(biāo)編號：0705-104010220311
上海國際招標(biāo)有限公司受買方委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)。 本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo) 方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：
01
品目1：300毫米晶圓濕法槽式氮化膜去除裝置(前工程) Nitride Removal (FEOL) 1臺
品目2：300毫米晶圓濕法槽式氧化膜刻蝕裝置(前工程) Oxide Wet Etch 1臺
品目3：300毫米晶圓濕法槽式洗凈裝置(擴(kuò)散爐前洗凈工藝) Pre-furnace Clean 2臺
02噴霧式旋轉(zhuǎn)清洗機(jī)Ni Clean 1臺
03300毫米銅電鍍設(shè)備Electric Cu Plate 1臺
2、招標(biāo)文件售價：3000.00
3、購買招標(biāo)文件時間：2010年6月4日起每天（節(jié)假日除外）9:00時至16:00時（北京時間）
4、購買招標(biāo)文件地點(diǎn)：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓
5、投標(biāo)截止時間和開標(biāo)時間：2010-06-24 15:00
6、開標(biāo)地點(diǎn)：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓
地 址：***
郵編：200040
電子郵箱***
電話：***
傳真：***
聯(lián)系人***
開戶銀行（人民幣）：招商銀行曹家渡支行
開戶銀行（美元）：上海浦東發(fā)展銀行陸家嘴支行
帳 號（人民幣）：096880-215080920510001上海國際招標(biāo)有限公司
帳 號（美 元）：98061455200000060
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客戶咨詢:400-633-1888 信息發(fā)布電話:13030031390 總部地址:北京市海淀區(qū)彩和坊路10號 1+1大廈2層(100190)
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