| 招標編號: | TD2011-J-32 |
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| 加入日期: | 2011.05.06 |
| 截止日期: | 2011.05.24 |
| 招標業主: | 天津大學 |
| 招標代理: | 天津大學資產處 |
| 地 區: | 天津市 |
| 內 容: | 設備名稱:低溫半導體探針臺系統 數量:1 用途: 用于測試微納米半導體器件,包括TFT、CMOS、LED、探測器、電池等器件的電學特性、光電特性、DC參量和低頻特性; 測試樣品在低溫以及變溫下的電學性質,據此分析器件內部載流子傳輸機制。 等 |
天津大學低溫半導體探針臺系統項目(TD2011-J-32)招標公告
受天津大學的委托,天津大學資產處將以公開招標方式,對天津大學低溫半導體探針臺系統項目實施政府采購。現歡迎合格的投標人參加投標。
一、項目名稱:低溫半導體探針臺系統(招標編號:TD2011-J-32)
二、招標內容: 低溫半導體探針臺系統
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設備名稱:低溫半導體探針臺系統
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數量:1
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用途:
用于測試微納米半導體器件,包括TFT、CMOS、LED、探測器、電池等器件的電學特性、光電特性、DC參量和低頻特性;
測試樣品在低溫以及變溫下的電學性質,據此分析器件內部載流子傳輸機制。
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對設備的總體要求:
用于微納米器件及相關技術領域的電學特性測試平臺,能夠實現低溫、真空的測試環境;可對微納器件及相關樣品的電學特性、光電特性、DC參量進行測量,溫度控制精確、探針漏電流與寄生電容低、測試信噪比高、整體穩定性高;
溫度范圍: 4.5K-400K,四通道溫度測量,雙通道PID控溫;
探針臂:針尖:半徑25μm,漏電流:<100fA頻率:DC-50MHz,寄生電容: <50fF,電纜絕緣電阻>100GΩ,探針作熱沉
樣品卡盤:三軸,2英寸,絕緣電阻>100GΩ;
光纖探針臂:紅外多模光纖,波長:350-2400nm,芯徑50um, 外徑125um
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主要參數及技術指標:
一、技術參數及規格要求
1、制冷方式:液氦或液氦制冷
2、溫度范圍,4.5K-400K
3、直流探針臂:4個
4、漏電流:每個直流探針臂的漏電流小于100fA
5、針臂之間的寄生電容:<50fF
6、直流探針臂頻率:DC-50MHz,直流探針匹配50Ω電阻
7、電纜絕緣電阻>100GΩ
8、樣品卡盤:三軸,2英寸,絕緣電阻>100GΩ
9、其中1個探針臂安裝1個溫度計,用來測量探針臂的溫度
10、直流探針做熱沉,探針臂和冷頭以及防輻射屏有良好熱接觸,直流探針尖對測量信號可以提供良好屏蔽和Guard
11、防輻射屏可以控溫
12、杜瓦壓力自動控制
二、系統基本配置組成
1、開環探針臺
1.1 開環探針臺:液氦溫區到400K
1.2 樣品級溫度傳感器,標定的DT-670-SD-1.4H溫度計,標定范圍從1.4K到500K
1.3 樣品級加熱器50W
2、防輻射屏和紅外吸收窗口
2.1 溫度傳感器DT-670C-CU 硅二級管溫度計
2.2 防輻射屏加熱器100W
3、控溫設備
3.1 Lake Shore 336溫控儀,四路輸入,兩路輸出(同時監視樣品臺、防輻射屏以及探針臂溫度)
4、真空腔體
4.1 探針臂開口6個等間距的開口
4.2 充氣口0.25in TPT,帶閥(只允許惰性氣體)
5、探針的導熱連接部件和熱輻射屏是直接和樣品座連接在一起的,一個探針臂的連接部件上帶一個鉑溫度計,直接和6針的電接頭用電纜相連
6、光學包
6.1 光學Zoom 70顯微鏡
6.2 彩色CCD相機
6.3 掃描鏡頭臂鏡頭的調整臂可以進行旋轉和上下升降,這樣確保在整個樣品架范圍內對樣品進行觀察,在更換樣品的時候,也可以把調整臂旋轉到一側,方便更換。
6.4 顯示器17in顯示器
6.5 樣品照明設備,可調光源和電源
7、4個直流探針臂
8、4根低溫電纜,帶三軸接頭,最大頻率50MHz
9、2英寸三軸樣品架,帶三軸接頭
10、1個光纖備用臂,光纖卡具及光纖,350-2400nm芯徑50um, 外徑125um
11、杜瓦自動控壓裝置
12、液氮杜瓦
13、100升液氦杜瓦
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