高精度單面曝光機招標公告

項目編號：中大招（特）[2011]057號
項目名稱：中山大學理工學院高精度單面曝光機采購項目

中山大學根據國家招投標法律法規和學校管理要求,擬以競爭性談判方式采購下列貨物及其相關服務。
一、 采購項目內容及數量：
高精度單面曝光機 1套；
詳細技術參數及要求：見附件1（具體參數以采購文件為準）
二、 談判供應商的必備資格要求：
（政府采購協議供貨類產品，具備中央政府采購或廣東省政府采購協議供貨商資格或以下條件者）：
（一）具備條件的中華人民共和國的法人或其它組織, 注冊資金不低于100萬元人民幣。
（二）必須具有制造標的物或合法的供貨和相關項目及安裝售后服務的能力。
（三）從事相關行業經營的經驗不少于兩年整且無不良記錄。
（四）被有關部門責令停業、企業經營資格被取消、企業財產被查封和凍結或者處于破產狀態的，不充許參加本項目談判。
三、 供應商報名或資格預審必須提供的文件：企業法人營業執照副本原件和一份復印件（企業法人營業執照副本原件驗后歸還，復印件須加蓋公章以備存查）。
四、 獲取競爭性談判采購文件（或供應商報名及資格預審）的時間：2011年5月30日至2011年5月31日（節假日除外）的每天9：00至11：30，15：00至17：00。
五、 獲取競爭性談判采購文件的地點：中山大學招投標管理中心，地址：***
六、 競爭性談判采購電子文件售價：每套售價150元人民幣，以人民幣銀聯卡刷卡方式收取，售后不退。電子文件供瀏覽及打印，讀取如有問題，請供應商在其購買后的三個日歷天內更換。
七、 競爭性談判響應文件遞交時間及地點：競爭性談判書面紙質響應文件和電子文件請于2011年　6月9日上午8：30至9：00遞交至中山大學招投標管理中心（具體時間以招標文件為準）。
八、 競爭性談判響應文件遞交截止時間：2011年6月9日上午9：00止。逾期送達的競爭性談判響應文件為無效競爭性談判響應文件，恕不接受。
九、 競爭性談判時間及地點：2011年6月9日于中山大學招投標管理中心（談判供應商的法定代表人或其授權代表須按采購文件要求攜帶有效身份證明在規定時間參加競爭性談判會，逾期視為自動棄權）。

本采購項目聯系人：柯老師，莊老師　　聯系電話***
傳真：***
注：供應商須對其所提供資料的真實性和談判行為的合法性負責，如有作假或違紀，一經發現立即取消談判資格，并將其列入不良行為記錄名單，同時在網上進行實名通報，一至三年內禁止參加中山大學及其附屬單位的采購活動。
附：
高精度單面曝光機
技術指標要求
1. 曝光分辨率：0.7μm（真空接觸）；3μm（20μm間距）；2μm（軟接觸）；1μm（硬接觸）
2. 曝光光譜范圍：UV400（350-450nm）
3. 光強：≥40mW/cm2 @405nm；≥20mW/cm2 @365nm
4. 光強均勻性：在150mm圓片范圍內，405nm光強均勻性≤+/-5%；365nm光強均勻性≤+/-5%
5. 曝光時間：0~999s，步長0.1s
6. 對準精度：0.5μm
7. 對準平臺：X移動+/-10mm；Y移動+/-5mm；旋轉角度+/-5°
8. 顯微鏡：雙視察，物鏡間距32-160mm（帶轉輪），光學最大放大倍數400倍，電子最大放大倍數400倍
9. 曝光光源支持恒功率（CP）、恒光強（CI）兩種模式
硬件配置
1. 基臺
1）包含機械底座、光刻板固定接合器、顯微鏡平臺、LCD顯示屏、光刻板固定器、載物臺
2）載片Chuck的尺寸：不小于6寸，可以滿足10mmX10mm的碎片，以及2”，4”，6”晶圓的曝光，
3）光刻板固定器：適用于2”，4”，6”直徑的晶片曝光
2. 顯微系統
1）雙視察光學顯微鏡，含鏡頭轉臺 目鏡：10x，20x
2）彩色CCD 液晶顯示器
3）物鏡：5x，10x，20x
4）照明燈：帶黃色濾光片
3. 紫外光強檢測器
1）表盤
2）365 / 405nm探頭
4. 防震臺