紫外曝光機(jī)招標(biāo)公告

項(xiàng)目編號(hào)：中大招（特）[2011]078號(hào)
項(xiàng)目名稱(chēng)：中山大學(xué)理工學(xué)院紫外曝光機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目

中山大學(xué)根據(jù)國(guó)家招投標(biāo)法律法規(guī)和學(xué)校管理要求,擬以競(jìng)爭(zhēng)性談判方式采購(gòu)下列貨物及其相關(guān)服務(wù)。
一、 采購(gòu)項(xiàng)目?jī)?nèi)容及數(shù)量：
紫外曝光機(jī) 1套；
詳細(xì)技術(shù)參數(shù)及要求：見(jiàn)附件1（具體參數(shù)以采購(gòu)文件為準(zhǔn)）
二、 談判供應(yīng)商的必備資格要求：
（政府采購(gòu)協(xié)議供貨類(lèi)產(chǎn)品，具備中央政府采購(gòu)或廣東省政府采購(gòu)協(xié)議供貨商資格或以下條件者）：
（一）具備條件的中華人民共和國(guó)的法人或其它組織, 注冊(cè)資金不低于100萬(wàn)元人民幣。
（二）必須具有制造標(biāo)的物或合法的供貨和相關(guān)項(xiàng)目及安裝售后服務(wù)的能力。
（三）從事相關(guān)行業(yè)經(jīng)營(yíng)的經(jīng)驗(yàn)不少于兩年整且無(wú)不良記錄。
（四）被有關(guān)部門(mén)責(zé)令停業(yè)、企業(yè)經(jīng)營(yíng)資格被取消、企業(yè)財(cái)產(chǎn)被查封和凍結(jié)或者處于破產(chǎn)狀態(tài)的，不充許參加本項(xiàng)目談判。
三、 供應(yīng)商報(bào)名或資格預(yù)審必須提供的文件：企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照副本原件和一份復(fù)印件（企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照副本原件驗(yàn)后歸還，復(fù)印件須加蓋公章以備存查）。
四、 獲取競(jìng)爭(zhēng)性談判采購(gòu)文件（或供應(yīng)商報(bào)名及資格預(yù)審）的時(shí)間：2011年6月10日至2011年6月13日（節(jié)假日除外）的每天9：00至11：30，15：00至17：00。
五、 獲取競(jìng)爭(zhēng)性談判采購(gòu)文件的地點(diǎn)：中山大學(xué)招投標(biāo)管理中心，地址：***
六、 競(jìng)爭(zhēng)性談判采購(gòu)電子文件售價(jià)：每套售價(jià)150元人民幣，以人民幣銀聯(lián)卡刷卡方式收取，售后不退。電子文件供瀏覽及打印，讀取如有問(wèn)題，請(qǐng)供應(yīng)商在其購(gòu)買(mǎi)后的三個(gè)日歷天內(nèi)更換。
七、 競(jìng)爭(zhēng)性談判響應(yīng)文件遞交時(shí)間及地點(diǎn)：競(jìng)爭(zhēng)性談判書(shū)面紙質(zhì)響應(yīng)文件和電子文件請(qǐng)于2011年　6月23日上午8：30至9：00遞交至中山大學(xué)招投標(biāo)管理中心（具體時(shí)間以招標(biāo)文件為準(zhǔn)）。
八、 競(jìng)爭(zhēng)性談判響應(yīng)文件遞交截止時(shí)間：2011年6月23日上午9：00止。逾期送達(dá)的競(jìng)爭(zhēng)性談判響應(yīng)文件為無(wú)效競(jìng)爭(zhēng)性談判響應(yīng)文件，恕不接受。
九、 競(jìng)爭(zhēng)性談判時(shí)間及地點(diǎn)：2011年6月23日于中山大學(xué)招投標(biāo)管理中心（談判供應(yīng)商的法定代表人或其授權(quán)代表須按采購(gòu)文件要求攜帶有效身份證明在規(guī)定時(shí)間參加競(jìng)爭(zhēng)性談判會(huì)，逾期視為自動(dòng)棄權(quán)）。

本采購(gòu)項(xiàng)目聯(lián)系人：柯老師，莊老師　　聯(lián)系電話***
傳真：***

歡迎符合條件的供應(yīng)商在談判響應(yīng)截止時(shí)間前積極參加。
注：供應(yīng)商須對(duì)其所提供資料的真實(shí)性和談判行為的合法性負(fù)責(zé)，如有作假或違紀(jì)，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)立即取消談判資格，并將其列入不良行為記錄名單，同時(shí)在網(wǎng)上進(jìn)行實(shí)名通報(bào)，一至三年內(nèi)禁止參加中山大學(xué)及其附屬單位的采購(gòu)活動(dòng)。

中山大學(xué)招投標(biāo)管理中心

紫外曝光機(jī)用戶(hù)需求書(shū)
一、 組成部分
1.1 曝光機(jī)包括紫外光源、曝光機(jī)本體、芯片和掩模夾具、對(duì)齊工具、顯示屏幕、防震臺(tái)、真空干泵等部分。
1.2 基板至少支持碎片和2inch、4inch等圓形芯片，支持方形芯片。
1.3 掩模至少支持2.5inch，3inch和5inch方形玻璃掩模。
1.4 支持紫外納米壓印模塊，使用適當(dāng)模具和卡具可支持micro contact printing、 PDMS軟模壓印或石英硬模壓印，納米壓印分辨率優(yōu)于50 nm，可壓印基板不小于1inch。
1.5 以?xún)?yōu)惠價(jià)格提供紫外納米壓印光刻膠套裝
二、 曝光指標(biāo)
2.1汞燈功率不低于350W，近紫外波長(zhǎng)范圍280nm-480nm（可配250nm波長(zhǎng)光源）。紫外光光強(qiáng)均勻性?xún)?yōu)于±2%（4inch范圍）, 優(yōu)于±3% （6inch范圍）。
2.2 支持固定功率（constant power）和固定光強(qiáng)（constant dose）兩種模式，可方便切換。
2.3 包含至少四種曝光模式：真空接觸、接近式（最大間隙不低于50um）、軟接觸、硬接觸。
2.4光強(qiáng)：365nm波長(zhǎng)輸出時(shí)不低于18 mW/cm2
405nm波長(zhǎng)輸出時(shí)不低于30 mW/cm2
2.5 最低曝光時(shí)間：0.1s
2.6 高壓汞燈有防止泄露以及保護(hù)設(shè)計(jì)。
2.7 有合適的光學(xué)設(shè)計(jì)減少光散射，有效提高曝光精度。
2.8 可曝光基板厚度：100um-600um。支持光刻膠厚度：100nm-200um。
2.9 接觸壓力可調(diào)，范圍：0.5-30N。
2.10 使用i-line（波長(zhǎng)365nm）和~1um厚AZ正膠，可靠地實(shí)現(xiàn)曝光分辨率：±0.8 um（真空）、1 um（硬接觸）、1.5 um（軟接觸）、3 um(接近式,間隙 30um)
2.11支持厚膠光刻，包括SU-8負(fù)膠。對(duì)50um厚SU-8負(fù)膠, 真空接觸分辨率不低于6um，顯影后垂直度90±5°。
2.12 可實(shí)現(xiàn)2um*2um邊長(zhǎng)方塊圖形的光刻（膠厚~1um），除圓角外無(wú)明顯變形。
三、 對(duì)準(zhǔn)指標(biāo)
3.1 有楔形誤差補(bǔ)償模式（WEC），避免偏移和摩擦。
3.2 頂部對(duì)齊配CCD和雙目顯微鏡，配3個(gè)物鏡如2.5X，10X，20X鏡頭，保證優(yōu)于1um/pixel的分辨率。
3.3 物鏡移動(dòng)距離：X: +40/-40 mm, Y: +40/-40 mm
基板平臺(tái)移動(dòng)距離: X: +10/-10 mm, Y: +10/-10 mm,轉(zhuǎn)動(dòng)角5°
3.4 正面對(duì)準(zhǔn)（TSA）精度優(yōu)于±1um
3.5 良好的基板調(diào)平設(shè)計(jì)，可自動(dòng)精確找平（leveling）
3.6 良好的對(duì)齊設(shè)計(jì)及用戶(hù)體驗(yàn)，更換基板后可迅速、便捷地對(duì)準(zhǔn)，無(wú)需掩模調(diào)整。
四、 顯示和軟件
4.1 配備大屏幕LCD平板顯示器（不低于17inch）或觸摸屏
4.2 windows 圖形界面軟件，可存儲(chǔ)曝光配方。
五、 附加組件
5.1 帶易耗品和維修工具包，包括長(zhǎng)壽命汞燈、密封圈等。
5.2 帶高質(zhì)量抗震臺(tái)，能有效減少振動(dòng)對(duì)曝光和對(duì)準(zhǔn)性能影響
5.3 使用無(wú)油泵抽真空。