硅產品檢測設備招標公告

預審公告標題：國家硅檢中心硅產品檢測設備公開招標采購預審公告
采購項目名稱：國家硅檢中心硅產品檢測設備
采購項目編號：LZCGK2011-64公告發布時間：2011年8月23日17時11分
行政區劃：樂山市采購方式：公開招標
采購人：樂山市產品質量監督檢驗所采購包個數：3
采購內容：包一：(進口設備按樂市財政函【2011】105號批復)
1、電感耦合等離子發射光譜儀ICP-OES（進口）1臺
2、氣相色譜儀（進口）1臺
3、氣相白炭黑比表面積孔徑測定儀（進口）1臺
4、精密晶體切割機（進口）1臺
5、原子吸收光譜儀（進口）1臺
6、液相色譜儀（進口）1臺
7、電子分析天平（進口）1臺
包二：
1、純水系統1臺
2、液氬罐3個
3、型號測試儀1臺
4、兩探針電阻率測試儀1臺
5、X光定向儀（激光定向儀）1臺
6、少子壽命測試儀1臺
包三：
1、區熔檢驗爐1臺
（技術參數和功能要求詳見附件）
申請人資格：1、在中國境內注冊并具有獨立法人資格的合法企業；
2、具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度；
3、具有履行合同所必須的設備和專業技術能力；
4、具有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
5、參加本次政府采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法違規記錄；
6、參加報價的供應商若是非生產廠家應出具設備生產廠家針對此項目的授權書原件；
7、涉及計量器具的投標產品必須取得中華人民共和國計量器具制造許可證并在有效期內；
供應商如對本公告要求有異議，請將意見在2011年8月29日下午17:00前（本時間為接收意見稿截止時間），以書面形式向招標代理機構或招標采購單位提出
公示截至時間：2011年8月29日17時0分
聯系人/聯系方式***
聯系人：趙先生聯系電話***
委托招標單位/采購中介結構名稱：樂山市政府采購中心
聯系人：郭先生聯系電話***

  附件：國家硅檢中心硅產品檢測設備采購項目

包一  ：技術參數和要求
5.1.1電感耦合等離子發射光譜儀ICP-OES （進口）
5.1.1.1、設備的主要用途、功能及特點
本設備為進口品牌，適用于各類半導體、多晶硅、三氯氫硅、工業硅粉、環境、食品、石化、金屬材料和地質樣品中主量及微量元素的定性、半定量和定量分析。
5.1.1.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
*5.1.1.2.1儀器總體要求：該光譜儀為全譜直讀電感耦合等離子體發射光譜儀（任何單道或波段式掃描不在此列）。采用最新設計，能快速分析幾十種元素含量，樣品用量少，消耗成本低。儀器必需包括高頻發生器、等離子體及耐氫氟酸進樣系統、分光系統、檢測器、循環冷卻水系統、分析軟件和計算機系統，全自動控制。
5.1.1.2.2 性能指標
5.1.1.2.2.1 檢測器：帶高效半導體制冷的固體檢測器
5.1.1.2.2.1.1 檢測單元：大于290,000個檢測單元
5.1.1.2.2.1.2 冷卻系統：高效半導體制冷。溫度：≤-45℃，啟動時間：< 3 分鐘
5.1.1.2.2.2 光學系統：恒溫驅氣型中階梯分光系統
5.1.1..2.2.2.1 單色器：中階梯光柵，石英棱鏡二維色散系統，高能量。
*5.1.1. 2.2.2.2 光室：精密恒溫38℃±0.1℃，驅氬氣或氮氣
5.1.1.2.2.2.3 波長范圍：166-847nm，全波長覆蓋。
*5.1.1.2.2.2.4 光學分辨率（FHW）：≤0.007nm 在200 nm處
5.1.1.2.2.2.5 氣路控制性能要求：霧化氣流量由質量流量控制器控制，冷卻氣、輔助氣、流量由質量流量控制器控制或由軟件調節壓力控制。
5.1.1.2.2.3  等離子體 
5.1.1.2.2.3.1 等離子體觀察方式：雙向觀察
5.1.1.2.2.3.2 RF發生器：固態發生器，直接耦合、自動調諧 
5.1.1.2.2.3.3 頻率：27.12MHZ或40.68MHZ
5.1.1.2.2.3.4 最大RF功率：?1500W，連續可調，可以適用于有機樣品的測定
5.1.1.2.2.4 雙向耐HF酸進樣系統
5.1.1.2.2.4.1 炬管：雙向炬管
5.1.1.2.2.4.2 霧化器:耐HF霧化器
5.1.1.2.2.4.3 霧化室：雙向耐HF霧化室
5.1.1.2.2.4.4 雙向霧化室連接管
5.1.1.2.2.4.5 中心管套、陶瓷中心管
5.1.1.2.2.4.6  6對進樣和廢液泵管
5.1.1.2.2.5 分析軟件：基于網絡化連接與控制的多任務、多用途操作平臺
5.1.1.2.2.5.1 軟件操作方便、直觀，具有定性、半定量、定量分析功能
5.1.1.2.2.5.2 具有同時記錄所有元素譜線的“攝譜”功能，并能永久保存和自動檢索操作軟件,并可永久保存和日后再分析。
5.1.1.2.2.5.3 具有多種干擾校正方法和實時背景扣除功能
5.1.1.2.2.5.4 符合21CFR Part 11的要求，具有登錄口令保護，多級操作權限設置和網絡安全管理，具有歷史記錄和電子簽名功能
5.1.1.2.2.5.5 儀器診斷軟件和網絡通訊，數據再處理功能
5.1.1.2.2.6 分析性能指標
5.1.1.2.2.6.1 雜散光：0.3ppm(在10000個ppm Ga溶液中測As189 線)
5.1.1.2.2.6.2 分析速度：≥每分鐘60個元素或譜線，而且每條測量譜線的積分時間≥10秒
5.1.1.2.2.6.3 樣品消耗量：<2ml，測定60個元素
5.1.1.2.2.6.4 譜線靈活性：可對分析元素的任何一條譜線進行定性、半定量和定量分析，便于分析研究
5.1.1.2.2.6.5 測定譜線的線性動態范圍：≥105（以Mn257.6nm 來測定，相關系數≥0.9996）
5.1.1.2.2.6.6 內標校正：同時的內標校正，即內標元素和測量元素必須同時曝光
5.1.1.2.2.6.7 精密度：測定1ppm或10ppm多元素混合標準溶液，重復測定十次的RSD≤0.5%。
5.1.1.2. 2.6.8 穩定性：測定1ppm或10ppm多元素混合標準溶液，連續測定4小時的長時間穩定性RSD＜2.0%。
5.1.1.2.2.7 冷卻循環水系統參數
5.1.1.2.2.7.1 一體機
5.1.1.2.2.7.2 冷卻能力：1500W @25℃ 
5.1.1.2.2.7.3 控溫方式：PID
5.1.1.2.2.7.4 冷卻方式：壓縮機制冷
5.1.1.2.2.7.5 控溫精度：±0.1℃
5.1.1.2.2.7.6 控溫范圍：8～35℃
5.1.1.2.2.7.7 泵型：高壓葉片泵 PO-1（黃銅）
5.1.1.2.2.7.8 水泵流量：6.4L/Min@4Bar
5.1.1.2.2.7.9 水箱容積：2.5L
5.1.1.2.2.7.10 制冷劑：R134A/R22
5.1.1.2.2.7.11 電源要求：220V ±10％，50Hz，10A，1phase
5.1.1.3、儀器主要配置 
5.1.1.3.1 全譜直讀電感耦合等離子體發射光譜儀
5.1.1.3.2 冷卻水循環系統
5.1.1.3.2 計算機及打印機（DELL電腦，處理器雙核2.5G,1G內存，160G硬盤，19”液晶，DVD-ROM。 HP激光打印機）
5.1.1.3.3 10KW交流穩壓電源（帶零地壓差顯示）
5.1.1.3.4 兩年備品備件備：
5.1.1.3.4.1 雙向炬管                            3只
5.1.1.3.4.2  2.0mm 耐HF酸陶瓷中心管            2只
5.1.1.3.4.3  1.5mm 石英中心管                    1支
5.1.1.3.4.4  同心圓霧化器                         1只
5.1.1.3.4.5  旋流霧化室                           1個
5.1.1.3.4.6  水溶液進樣泵管        1包
5.1.1.3.4.7  水溶液廢液泵管        1包
5.1.1.3.4.8  霧化室連接管                         1個
5.1.1.3.4.9  中心管套                        1個

5.1.2氣相色譜儀（進口）
5.1.2.1、設備的主要用途、功能及特點：
本設備為進口品牌，主要用于氯硅烷及相關有機物的定量定性分析。
5.1.2.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.1.2.2.1 色譜性能
5.1.2.2.1.1 保留時間重現性<0.01%
*5.1.2.2.1.2 峰面積重現性<1.5%RSD
5.1.2.2.2 柱溫箱
5.1.2.2.2.1 操作溫度范圍高于環境溫度+4℃至450℃。
5.1.2.2.2.2 溫度設定值精度：1℃。
5.1.2.2.2.3 支持18階以上柱箱升溫梯度，大于18個恒溫平臺，可梯度降溫。
5.1.2.2.2.4 最大升溫速度：120?C/min
5.1.2.2.2.5 柱箱冷卻降溫（22℃室溫），從450℃到50℃需要3.5min。
5.1.2.2.2.6 環境溫度敏感度：環境溫度變化1℃ ,柱箱溫度變化<0.01 ℃。
5.1.2.2.2.7 雙通道柱流失補償
5.1.2.2.3 電子氣路控制
5.1.2.2.3.1 隨環境溫度和海拔的變化，自動進行溫度補償
5.1.2.2.3.2最高達13個EPC通道
*5.1.2.2.3.3 壓力精度優于0.01 psi。
5.1.2.2.3.4 壓力/流量程序控制：3階
5.1.2.2.3.5 EPC控制所有氣路
5.1.2.2.4 進樣口
5.1.2.2.4.1 分流/不分流進樣口
5.1.2.2.4.1.1 EPC壓力設定:0-100psi。
5.1.2.2.4.1.2 流量范圍：對于氮氣，0 – 200ml/min ，對于氫氣或氦氣, 0 – 1250ml/min
5.1.2.2.4.1.3 有載氣節省模式:可以減少氣體消耗而不影響儀器的性能。
5.1.2.2.4.1.4 分流比可達7500:1，避免色譜柱超載。
5.1.2.2.4.1.5 最高使用溫度：400℃。
5.1.2.2.4.1.6 優化隔墊吹掃的流量可消除鬼峰。
5.1.2.2.4.1.7 快速扳轉系統，更換襯管無需拆卸螺絲
5.1.2.2.4.1.8 提供手動氣路裝置。
5.1.2.2.5 隔膜吹掃填充柱進樣口
5.1.2.2.5.1 電子流量/壓力控制：壓力范圍為0.0到100 psi，流量范圍0.0 到100.0 mL/min.以便對常規的填充柱設定值范圍進行性能優化。
5.1.2.2.5.2 最高使用溫度：400℃。
5.1.2.2.5.3 具有適合連接1/4 英寸和1/8 英寸填充柱，和0.530mm毛細管柱的接頭，提供手動氣路裝置。
5.1.2.2.6 檢測器
5.1.2.2.6.1 所有的檢測器均配有EPC和電子開/關控制氣路。
5.1.2.2.6.2 大氣壓和溫度變化自動壓力補償
5.1.2.2.6.3 可以雙通道柱流式補償
5.1.2.2.7 火焰離子化檢測器(FID)
*5.1.2.2.7.1 最低檢測限：<1.8 pg C/s。
5.1.2.2.7.2 電子壓力/流量控制,壓力控制精度:0.001psi可用于毛細柱和填充柱
5.1.2.2.7.3 最高溫度450℃
5.1.2.2.7.4 線性動態范圍：>107。數字化數據可用于整個數據范圍無須做量程的改變。
5.1.2.2.7.5 數據采集速率：500Hz
5.1.2.2.7.6 具有滅火自動檢測和自動重新點火功能
5.1.2.2.7.7 流量：
Air：0－800ml/min
H2：0－100ml/min
N2或Ar：0－100ml/min
5.1.2.2.7.8 流量精度： ± 3ml/min
5.1.2.2.7.9 流量重復性：±0.35%
5.1.2.2.7.10 溫度系數：± 0.20ml/min/°C
5.1.2.2.8 熱導檢測器(TCD)
5.1.2.2.8.1 最低檢測限：400pg丙烷/mL，以氦作載氣
5.1.2.2.8.2 線性動態范圍：>105
5.1.2.2.8.3 單絲熱導檢測器, 微池死體積: 3.5ul
5.1.2.2.8.4 對導熱系數高于載氣的組分，可以進行信號極性的程序控制。
5.1.2.2.8.5 電子壓力/流量控制。
5.1.2.2.8.6 最高溫度400°C
5.1.2.2.9 化學工作站
5.1.2.2.9.1 時間編程
5.1.2.2.9.2 儀器故障和維護情況可由內置電子跟蹤系統自動記錄
5.1.2.2.9.3早期維護反饋功能（EMF），能持續跟蹤進樣系統、墊圈、襯管、和色譜柱等信息，并將這些信息用圖形化直觀地顯示。
5.1.2.2.9.4 獨特的遠程診斷功能、錯誤檢查和顯示功能。
5.1.2.2.9.5 軟件圖象化，靈活簡單，操作易學。
5.1.2.2.9.6 系統適用性驗證服務。
5.1.2.3、儀器主要配置
5.1.2.3.1 氣相色譜儀主機（EPC控制）         1臺
5.1.2.3.2 分流不分流進樣口                   1套
5.1.2.3.3 填充柱進樣口                       1套
5.1.2.3.4 熱導檢測器                         1套
5.1.2.3.5 氫火焰離子化檢測器                 1套
 1/8英寸接頭                                20個
5.1.2.3.7 色譜柱切割器                       1個      
 1/8英寸黃銅螺母/套圈套裝                    6套
5.1.2.3.9 檢漏液                             1瓶
 分捕集阱                                    1個
 氣捕集阱                                 1個
 流出口捕集阱                                1個
 管50英尺                                   1根
 類捕集阱                                    1 個
 譜柱工作站                                  1套
5.1.2.3.16 電腦及激光打印機（品牌商用電腦，2G以上內存/320G以上硬盤/16倍DVD/19 LCD）                                                                 1套
5.1.2.3.17 氯硅烷檢測色譜柱（DC550,5A分子篩，TDX）                 1套

5.1.3 氣相白炭黑比表面積孔徑測定儀（進口）
5.1.3.1、設備的主要用途、功能及特點.
本設備為進口品牌，全自動運行，是能進行真空體積測定的氣體物理吸附的系統，主要用于白炭黑比表面積指標的檢驗。
5.1.3.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.1.3.2.1 硬件配置要求：
5.1.3.2.1.1 分析站數量：同時測三個樣品
5.1.3.2.1.2 脫氣站數量：同時處理六個樣品
*5.1.3.2.1.3 壓力傳感器：配備五個高精度壓力傳感器。每個分析站、P0管和manifold配氣管必須有獨立的壓力傳感器
5.1.3.2.1.4 真空泵：進口油泵一臺，抽速不大于0.7L/min
5.1.3.2.2 技術要求:
5.1.3.2.2.1 比表面積范圍 ：0.0005m2/g至無上限
*5.1.3.2.2.2 重復性:<1%，為保證數據精度（減少溫度變化和死體積影響），三個樣品站須在一個杜瓦中
5.1.3.2.2.3 杜瓦瓶容積：2.75升。
5.1.3.2.2.4 液氮液面精確恒定：“等溫夾套管”方式確保每根樣品管液面恒定，液面變化<0.1mm
5.1.3.2.2.5 獨立的飽和壓力管，可實現飽和壓力值P0 的實時測量。
5.1.3.2.2.6 自動化程度 ：分析過程真正全自動，電腦軟件自動控制，主機面板無控制按鍵。
5.1.3.2.2.7主機和電腦的數據通訊為網線連接，內置電子檢測點和強大的儀器自診斷功能，圖像瀏覽功能。
5.1.3.3、儀器主要配置
 序號  描述/Description  數量
1 全自動比表面積及孔隙分析儀：采用靜態容量法，是一臺完全的自動化、三個分析站同時工作的比表面和孔隙分析儀 1
2 Vacuum Pump:真空泵－二階機械泵以及連接管路220V 1
3 Flowprep6站脫氣系統，可進行最多6個樣品的同時脫氣 1
4 REF MAT SA~ 215 m2/g PV~.6cc/g  標樣 1
5 CBL, CAT5,8COND,RJ45   網線 1
6 REF. MATL.CARBON BLK.30.6 m2/g 標樣 1
7 Sample tube樣品管 10
8 P0 saturation tube 飽和壓力管 1
9 O-RING, -010 70 DURO BUNA-N 6
10 Isothermal jacket等溫夾 3
11 2.75L dewar 2.75升杜瓦瓶 1
12 FRIT, 40UM SS 1/4 DX 1/16T     過濾片 6
13 ASSY, GAS INLET LINE, COPPER  氣路 4

5.1.4精密晶體切割機（進口）
5.1.4.1、設備的主要用途、功能及特點
本設備為進口品牌，主要用于對各種固體材料（包括陶瓷，硅等）進行無損傷，精密定位的精確切割，低震動的驅動及傳動裝置，配合薄型刀片，使切割時切口最小，損傷層最小，得到基本無損傷的試樣,為后續檢驗做制樣準備。
5.1.4.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
*5.1.4.2.1 試樣定位精度2微米
5.1.4.2.2 電機功率：950W
*5.1.4.2.3 可使用金剛石刀片（最大200mm）和砂輪片（最大180mm）
5.1.4.2.4 進料速率：1.2－19mm/min,每次增量0.2-0.3mm
5.1.4.2.5 可編程切割長度0.25mm-200mm，增量0.25mm
*5.1.4.2.6 切割片速度：200轉/分－5000轉/分可調，每次增量50轉/分
5.1.4.2.7 微處理器控制，液晶顯示（64X240像素LCD），觸摸按鍵控制
5.1.4.2.8 冷卻系統：外置大容量冷卻循環系統（27升）
5.1.4.2.9  切割尺寸：最大樣品直徑50mm，矩形樣品：長150X深50X高13mm
5.1.4.2.10 配備自動修刀精整系統
5.1.4.2.11選擇進料速率和Smartcut靈巧切割功能可以自動調節以給出最快的，不產生殘余變形損傷的切割
5.1.4.2.12 可配置金剛石磨料、立方氮化硼磨料、氧化鋁磨料、碳化硅磨料等切割片用于快速、精確的切割鋼、硅材料
5.1.4.2.13電源：85-264V/ 50-60 Hz 單相
5.1.4.2.14 X軸工作空間：長546mmX深750mmX高337mm，Y軸長250mmX深200mm高100mm
5.1.4.2.15 安全：緊急情況提醒功能，緊急剎車功能，磁安全聯鎖；
5.1.4.2.16 顯示語種：中文
5.1.4.3、儀器主要配置
序號 貨品名稱 / 規格 數量
1 線性精密切割機主機 1
2 50mm 夾具 1
3 4” (102 mm) 法蘭組 1
4 單鞍夾具 1
5 鑲嵌樣品夾具 1
6 異型夾具 1
7 7” 金剛石切割片 1
8 雙鞍型樣品夾具，主要用于夾持硅等易碎材料試樣 1

5.1.5 原子吸收光譜儀（進口）
5.1.5.1、設備的主要用途、功能及特點：
本設備為進口品牌，用于各種樣品中痕量和超痕量的金屬元素以及部分非金屬元素的定性和定量分析。
5.1.5.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
*5.1.5.2.1總體要求：
火焰原子吸收和石墨爐原子吸收各一臺，具有獨立的光路和檢測系統；無須切換火焰和石墨爐原子化器，能同時進行火焰和石墨爐分析；由一個工作站軟件完成自動控制.
5.1.5.2.1.1 窄光束設計，無透鏡全反射的光學系統完全密封，光學部件采用石英涂層；
5.1.5.2.1.2 采用旋轉光束合成器（RBC），能夠實現最大限度的光通量；
5.1.5.2.1.3 全鑄鋁光學底座，特殊的防震設計，保證儀器的堅固可靠和極佳的穩定性；
5.1.5.2.1.4 采用Czerny-Turner 單色器，低雜散光，拓寬了線性范圍，并降低檢出限；
5.1.5.2.1.5 波長范圍：185～900nm。計算機控制：自動選擇波長；
5.1.5.2.1.6 波長掃描速度：2000nm/min；
5.1.5.2.1.7 自動狹縫切換，0.2、0.5、1.0nm，并可設定高、低狹縫；
5.1.5.2.1.8 固定8燈座，旋轉鏡面，自動快速選擇元素燈；火焰部分和石墨爐部分具有各自獨立的燈座，用于分析不同的項目，且燈座固定，避免優化的動作。
5.1.5.2.1.9 火焰和石墨爐部分具有獨立的光學平臺和檢測系統。
5.1.5.2.2 霧化及安全系統：
5.1.5.2.2.1 霧化系統由氟塑料制成，能夠耐強酸和有機溶劑；霧化器溶液提升量可調節，便于優化方法；
5.1.5.2.2.2 燃燒頭為合金制造，材料耐腐蝕，基座附防腐蝕屏蔽膜，耐腐蝕，不發脆； 燃燒頭防堵效果好，能適合高鹽樣品分析；
5.1.5.2.2.3 撞擊球：玻璃撞擊球，也可選配耐氫氟酸的撞擊球，撞擊球前后位置外部可調；
5.1.5.2.2.4 雙頭擾流器：置于霧化室內的擾流器可以更好的適用于高鹽樣品的測定，提高測定的準確度和精密度；
5.1.5.2.2.5 安全聯鎖監控：燃燒頭類型、位置、液阱位置、壓力釋放塞、火焰屏蔽罩、火焰工作情況、電源、氣體壓力,多個防紫外輻射和廢氣排放系統給予操作人員完全的保護；
5.1.5.2.2.6 具有內標校正功能：確保測定結果更準確；
5.1.5.2.2.7 元素燈能實現同時預熱功能。
5.1.5.2.3 檢測器及背景校正
5.1.5.2.5.1 寬范圍光電倍增管，可獲最大的信噪比；
5.1.5.2.3.2 高強度氘燈背景校正，可校正到2.5Abs的背景，響應時間為2ms，準確校正實際背景；帶有自動衰減的調節功能；
*5.1.5.2.3.3 5ppm銅吸光度值大于0.9Abs，精密度RSD小于0.5%。
5.1.5.2.4 石墨爐系統：
5.1.5.2.4.1 穩定溫度區域控制技術：40-3000?C可進行程序升溫，最大升溫速度為2000 ?C /s；
5.1.5.2.4.2 獨立的兩路內、外氣，分別獨立保護設計，延長石墨管壽命，銅的典型操作次數可達5000次；
5.1.5.2.4.3 石墨爐采用動態溫度反饋系統CTZ，控溫精確使得石墨爐的精密度高、記憶效應低；
5.1.5.2.4.4 具有專利的多點曲線擬合法摸擬背景吸收曲線，而非一般的線性內插法，能夠實現更準確描繪出背景信號的真實峰形塞曼背景校正；
5.1.5.2.4.5 交流橫向塞曼扣背景技術；塞曼扣背景響應小于5ms；實時監測背景信號，結果更可靠；
*5.1.5.2.4.6 石墨爐塞曼磁場強度0.1~0.8特斯拉，最好多級可調。計算機控制的塞曼磁場強度：可優化背景校正效果，增強靈敏度降低干擾。特別是可根據不同的元素和基體介質，能夠采用最佳的磁場強度，減少塞曼背景校正時可能出現的下彎現象；
5.1.5.2.4.7 塞曼背景校正可滿足185～900nm全波長范圍高達2.5Abs的背景吸收；
5.1.5.2.4.8 特征質量：Cd 0.2pg；
5.1.5.3.4.9 儀器內聯鎖裝置：主電源功率、磁場聯接、磁場溫度；
5.1.5.3.4.10 外部內聯鎖裝置：石墨爐內、外氣氣壓監控，冷卻水壓力和溫度，石墨管狀態。
5.1.5.2.5 石墨爐自動進樣器:
5.1.5.2.5.1 自動進樣器，能克服自動進樣器易產生氣泡的問題；
5.1.5.2.5.2 具有石墨爐彩色攝像系統，實時檢測石墨管內狀況，使自動進樣器進樣針的位置調整更簡單；并且可以確定方法開發中各個步驟的溫度是否合適；
5.1.5.2.5.3 放置50個2ml樣品瓶和5個25ml樣品瓶或更高配置；
5.1.5.2.5.4 樣品進樣體積：1-70ul；
5.1.5.2.5.5 可由同一個母液自動配置多達10個濃度的溶液或標準曲線；
5.1.5.2.5.6 可自動添加3種基體改進劑，預進樣/后進樣或與樣品一起進樣。具有自動減少超標樣品進樣體積功能；
5.1.5.2.5.7 為了增加靈敏度可多次進樣99次，對于快速分析，可進行“熱進樣”，進樣速度和溫度在40～200 ℃范圍內編程；
5.1.5.2.5.8 樣品進樣重現性：RSD <1%；
5.1.5.2.5.9 自動進樣器能適用于：水、乙醇、甲醇、丙酮等多種溶劑。
5.1.5.2.6 控制軟件：
5.1.5.2.6.1 全中文操作軟件；提供中文在線幫助系統、維護視頻和中文操作手冊；
5.1.5.2.6.2 火焰在線內標校正技術可以校正由于物理干擾、樣品制備誤差和長期使用的儀器漂移等所造成的偏差，提高結果的準確度和精密度；
5.1.5.2.6.3 石墨爐自動優化參數程序功能，使石墨爐方法開發更加簡易；
5.1.5.3、儀器配置
序號 名稱 數量
1 快速序列式雙光束火焰原子吸收光譜儀 1臺
2 石墨爐原子吸收光譜儀主機和石墨爐自動進樣器 1臺
3 國產無油靜音空氣壓縮機 1臺
4 進口原裝石墨爐專用循環水冷卻器 1臺
5 原裝原子吸收英文軟件、手冊及數據接口 1套
6 原子吸收中文軟件包、中文手冊 1套
7 進口原裝Cu、Pb、Mn、Cd、Cr元素空心陰極燈各1支 5支
9支
 國產Ca、Mg、Fe、Ni、Co、Zn、K、Na、Ag元素空心陰極燈各1支 
8 進口原裝加熱石墨管 20支
9 進口原裝加熱石墨錐 2對
10 進口原裝石墨爐自動進樣器進樣針 1套
11 進口原裝火焰進樣毛細管 1套
12 品牌商用電腦 （2G以上內存/320G以上硬盤/16倍DVD/19“LCD） 1臺
13 品牌激光打印機 1臺
14 中文使用說明手冊 1份

5.1.6 高效液相色譜儀(進口)
5.1.6.1、設備的主要用途、功能及特點.
本設備為進口品牌，主要用于食品添加劑的檢驗。
5.1.6.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.1.6.2.1 四元梯度泵
5.1.6.2.1.1 液壓系統串聯式雙柱塞往復泵,伺服控制被動入口閥。
*5.1.6.2.1.2 可變沖程20-100ul，主動電磁閥控制
5.1.6.2.1.3 流量精度：<0.075RSD或者≤0.02 min SD
5.1.6.2.1.4 流速準確度：±1%或10μL /min
5.1.6.2.1.5 流速范圍：0.001~5.0mL/min, 0.001ml/min步進
5.1.6.2.1.6 PH范圍：1.0-12.5
5.1.6.2.1.7 梯度組成精密度：<0.15% RSD
5.1.6.2.1.8 梯度組成準確度：±0.35%
5.1.6.2.1.9 最小梯度延遲體積：120μL
5.1.6.2.1.10 壓力脈動：<2 % amp (典型性< 1.3 %), 或者< 0.3 MPa (3 bar), 測試條件(1 mL/min 異丙醇)
5.1.6.2.1.11 溶劑混合范圍：0 - 100％(推薦范圍：1 - 99％或5ul/min)
5.1.6.2.1.12 壓力監測的模擬輸出:單輸出1.33mV/bar
5.1.6.2.1.13 操作壓力：0-600bar(0-60MPa或0-8700psi)
5.1.6.2.1.14 可壓縮性補償：根據流動相自動調節或用戶選擇
5.1.6.2.1.15  GLP的特點:早期維護反饋（EMF）的連續跟蹤儀器的使用,電子記錄在密封件的磨損和體積 ,用戶可設置的限制和反饋消息
5.1.6.2.2 在線脫氣機
5.1.6.2.2.1 流速：0-5ml/min每個流路
5.1.6.2.2.2 通道：四個獨立通道
5.1.6.2.2.3 PH 范圍：1-14
5.1.6.2.2.4 內部材料：PTFE,PEEK,FEP
5.1.6.2.3 智能化溫控柱箱
5.1.6.2.3.1 半導體溫控設計，流動相柱前預加熱功能。
5.1.6.2.3.2 柱溫范圍：室溫以下10至80?C
5.1.6.2.3.3 溫度穩定性：±0.15?C
5.1.6.2.3.4 溫度準確度：±0.5?C
5.1.6.2.3.5 內體積：左控溫模塊3?L，右控溫模塊 6?L；
5.1.6.2.3.6 柱容量：最多可同時放3根30cm色譜柱。
5.1.6.2.3.7 柱溫箱最大耐壓： 600 bar
5.1.6.2.4 自動進樣器：100位樣品盤
*5.1.6.2.4.1具有可編程進樣功能，具有樣品柱前衍生（氨基酸自動分析），柱前樣品自動稀釋，自動混合等復雜進樣方式。
5.1.6.2.4.2 樣品粘度范圍: 0.2— 5cp
5.1.6.2.4.3 可根據樣品的粘度，調節取樣及進樣速度。
5.1.6.2.4.4 自動進樣器具有氨基酸柱前衍生功能，可進行氨基酸自動分析功能。
5.1.6.2.4.5 進樣范圍：0.1～100?L，增量為0.1mL；
5.1.6.2.4.6 進樣精密度：<0.25% RSD
5.1.6.2.4.7 樣品殘留：<0.004%
5.1.6.2.4.8 自動進樣器最大耐壓：600bar
5.1.6.2.5 二極管陣列檢測器
5.1.6.2.5.1光源：氘燈和鎢燈
*5.1.6.2.5.2波長范圍：190～950nm
5.1.6.2.5.3二極管個數：1024個
5.1.6.2.5.4狹縫寬度：狹縫寬度可編程可調，1、2、4、8、16nm
5.1.6.2.5.5實時信號：同時輸出8個實時信號
5.1.6.2.5.6檢測通道：1個實時輸出信號
5.1.6.2.5.7模擬輸出：記錄器/整合器: 100 mV 或1 V,輸出范圍 0.001 – 2 AU,
單輸出
5.1.6.2.5.8波長精度：1nm
5.1.6.2.5.9線性吸收范圍：>2AU(5 %) 在265 nm
5.1.6.2.5.10 信號數率： 優于75Hz
5.1.6.2.5.11 基線噪音：< ± 0.7 x 10-5 AU 在254nm,
5.1.6.2.5.12 基線漂移： < 0.9 x 10-3 AU/hr 在 254 nm
5.1.6.2.6 數據處理系統
5.1.6.2.6.1 軟件：Windows操作環境，三維液相色譜作軟件，工作站系統通過LAN接口控制泵系統和檢測器并可進行快速采集數據，進行色譜定性、定量分析。
5.1.6.2.6.2圖形化設計
5.1.6.2.6.3維護信息預報系統（EMF）
5.1.6.2.6.4電子記錄維護和錯誤及故障信息
5.1.6.3、儀器主要配置

序號 配置名稱（需注明配置產品型號或序列號） 數量
1 四元梯度洗脫泵 1
2 液相色譜系統工具包 1
3 液相色譜啟始工具包 1
4 主動密封墊清洗 1
5 柱溫箱 1
6 化學工作站 1
7 化學工作站軟件驅動 1
8 C18,4.6 x 50mm,1.8um色譜柱 1
9 C18,4.6 x 100mm, 3.5um色譜柱 1
10 C18,4.6 x 150mm, 5um色譜柱 1
11 玻璃過濾頭，溶劑入口 2
12 過濾白頭 5/包 2
13 螺紋口樣品瓶，透明，100/包 5
14 藍色螺紋口樣品瓶蓋，100/包 5
15 DAD光譜軟件 1
16 標準型100位自動進樣器 1
17 二極管陣列檢測器（含RFID 跟蹤） 1
18 標準流通池 1
19 品牌商用電腦 （2G以上內存/320G以上硬盤/16倍DVD/19 LCD） 1
20 品牌激光打印機 1

5.1.7電子分析天平（進口）
5.1.7.1. 設備的主要用途、功能及特點
本設備為進口品牌，主要用于稱量微量物質，其感量最小可達0.01mg。主要應用于新型材料開發和食品化工等領域。
5.1.7.2. 技術參數及指標
稱量能力(g)：220/82
最小顯示值（mg）：0.1/0.01
重復性（mg）：0.1/0.05
線性（mg）：0.2/0.1
平均響應時間（s）：3/15
稱量尺寸（mm）：80
防風罩有效高度（mm）：223

 包二  ：技術參數和要求
5.2.1、純水系統（一）
5.2.1.1、設備的主要用途、功能及特點：
本設備主要用于硅材料的清洗和質譜儀中。具體安裝時，應將質譜用水系統要跟其他系統分開來，質譜用的超純水系統要在質譜制樣室里面，最好做到，現用現產。
5.2.1.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.2.1.2.1系統總進水量：預處理：1.5-2m3/h
5.2.1.2.2系統出力：1級RO純水處理：1.25m3/h；
                  2級RO純水處理：1.0m3/h；
                  EDI純水處理：1.0m3/h；
　　　　　　　　  拋光混床處理：1.0m3/h；
                  分析用水：1.5L/ min
5.2.1.2.3 終端產水水質：對于清洗用水，主要要求:
電阻率（MΩ?cm）18.2
微粒(μm)(SEM 檢測)
0.2—0.5 個微粒（μm）/3000ml
0.5—1.0個微粒（μm）/10000
離子(μg／L)
Cl         1
NO3        1
PO4        1
SO4        1
Cu         1
Ni         1
K          2
Na         1
Zi         1
微生物     <1cfu/ml
直徑大于0.22μm的顆粒物數量：  <1/ml
總有機碳（TOC）：<5ppb
5.2.1.2.4 供水方式：現用現產
5.2.1.2.5 本方案主要依據如下：
5.2.1.2.5.1原水水源：自來水
5.2.1.2.5.2原水設計溫度：25℃
5.2.1.3、儀器配置
序號 配置名稱（需注明配置產品型號或序列號） 數量
1 原水箱（1m3） 1
2 原水泵(CHL4-30) 1
3 多介質過濾器（VLY-MM-1354） 1
4 活性碳過濾器（VLY-MM-1354） 1
5 軟化過濾器（VLY-MM-1354） 1
6 精密過濾器 1
7 高壓泵（CDL2-15） 1
8 一級RO 反滲透(VLY-RO-1250L) 1
9 二級RO 反滲透 (VLY-RO-1000L) 1
10 二級RO 水箱(1m3) 1
11 EDI 增壓泵（CHL2-40） 1
12 EDI 系統 1
13 TOC脫除器 1
14 拋光混床系統（VLY-MM-1035） 1
15 輸送泵（CHL2-30） 1
16 電控系統 1
17 管件閥門 配套

5.2.1、純水系統（二）
5.2.1.1、設備的主要用途、功能及特點：玻璃器皿的最后沖洗，化學/生化試劑配制；精密分析儀器用水(HPLC, UPLC,AA,TOC等等)；動植物細胞培養，分子生物學研究等；特別針對超痕量元素分析ICP-MS、FAAS、ILC等分析儀器供水。
5.2.1.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.2.1.2.1該系統以分析級純水作為進水，連續生產超純水。由產水主機和終端精制器、以及獨立的取水單元組成。
5.2.1.2.2 超純水產水水質（QPOD）：
5.2.1.2.2.1 電阻率：  18.2 MΩ?cm＠25℃
5.2.1.2.2.2 電阻池靈敏常數: 0.01cm-1，溫度靈敏度:±0.1℃, 附原廠校驗證書
5.2.1.2.2.3 總有機碳含量(TOC)：  ≤ 5ppb；
5.2.1.2.2.4 流速：四種流速可選，最大為2L/min
5.2.1.2.2.5 直徑大于0.22μm的顆粒物數量: ＜1個/ml
5.2.1.2.2.6 細菌:  0.1 cfu/ml
5.2.1.2.2.7 熱原（內毒素）：< 0.001Eu/ml
5.2.1.2.2.8 配置有專用的去硼離子交換柱
5.2.1.2.3 超純水產水水質（QPOD Element）：
5.2.1.2.3.1 電阻率：18.2 MΩ?cm＠25℃
5.2.1.2.3.2 總有機碳含量(TOC) ＜ 5ppb ；
5.2.1.2.3.3 流速：≤1.5L/min
5.2.1.2.3.4 直徑大于0.22μm的顆粒物數量: ＜1個/L
*5.2.1.2.3.5 細菌:  0.01 cfu/ml(使用新過濾器和管路)
*5.2.1.2.3.6 K39離子< 20ppt；Al, Ge, Li, Sc離子< 10ppt；其它陽離子 ＜1ppt；
*5.2.1.2.3.7 水質關注元素Rb, U, As, Hg, Ba, Ce, Cs, Co ≤0.1ppt
5.2.1.2.4 內置TOC在線檢測器, 在線檢測超純水中的TOC，檢測范圍和精度符合USP標準, 附校驗證書
5.2.1.2.4.1檢測范圍: 1 - 999 ppb
5.2.1.2.4.2精度: ± 1 ppb
5.2.1.2.5系統內置雙紫外燈，一個是內置純化組件185nm/254nm雙波長紫外燈有效降低TOC水平,一個是TOC儀表內專門用于檢測產水TOC的紫外燈，保證對TOC監測的準確性。
5.2.1.2.6 全封閉管路設計，系統在非取水期間定期自動循環，保持水質新鮮
*5.2.1.2.7 配置取水系統無金屬部件的終端精制器和聚乙烯終端過濾器，腳踏開關控制取水，降低外部污染風險；彩色顯示屏顯示關鍵水質指標，包括溫度，電阻率，TOC值，系統狀態和警告。
*5.2.1.2.8 可配置兩個與超純水主機分離的取水器Q-POD，可控流速及定量取水，取水器可調高度和角度適合大部分的實驗室器皿取水。遠程取水部件自帶彩色圖形顯示器實時檢測出水水質指標，包括溫度，電阻率，TOC值，系統狀態和警告。
5.2.1.2.9液晶顯示屏支持中文操作界面，實時顯示出水關鍵信息包括水質，系統狀態和警告。
5.2.1.2.10 超純水主機可自動記錄一整年用水水質資料，具備網絡接口和RS232接口，可連接打印機或電腦，下載歷史數據和水質報告，并在線了解系統內部工作狀態和原理，便于實驗室用水管理。
5.2.1.2.11 整機符合 GLP規范，可提供驗證服務
5.2.1.2.12 全系統可追溯美國NIST儀表校驗
5.2.1.3、儀器配置
5.2.1.3.1 超純水主機系統(內置TOC檢測儀)      1 臺
5.2.1.3.2  Q-POD獨立取水器                   1 個
5.2.1.3.3  Q-POD Element終端精制器            1個
5.2.1.3.4 帶芯片去硼超純化前柱                1 根
5.2.1.3.5 帶芯片低有機物型超純化后柱          1 根
5.2.1.3.6  0.22um終端過濾器                   1 套
5.2.1.3.7 去除超痕量離子污染的純化柱          1根
5.2.1.3.8 聚乙烯終端濾器                      1個
5.2.1.3.9 操作手冊/說明書                      1 套

5.2.2、液氬罐
5.2.2.1、設備的主要用途、功能及特點：
本設備主要用于裝液體氬氣，并制備高純氣態氬氣。
5.2.2.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.2.2.2.1 型號：DPL450-175-1.4焊接絕熱氣瓶     5.2.2. 2.2 公稱容積：175升     5.2.2. 2.3 外形尺寸（外徑X高度）：505X1480     5.2.2.2.4 材質：304不銹鋼
5.2.2.2.5 外膽厚度：3 mm       內膽厚度：2.5 mm
5.2.2.2.6 設計工作壓力：1.4Mpa
5.2.2.2.7 正常使用壓力：0.27~1.10Mpa 5.2.2.2.8 出廠設定的使用壓力：0.86~0.96Mpa 5.2.2.2.9 充裝介質：液氮、液氬、液氧 5.2.2.2.10 最大氣體流量：9.5立方/小時 5.2.2.2.11 靜態日蒸發率 ：≦2.1% 5.2.2.2.12 空重：117kg   

5.2.3、型號檢試儀
5.2.3.1、設備的主要用途、功能及特點：
本設備主要用于硅材料型號的檢試，確定硅材料屬于N型還是P型。
5.2.3.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.2.3.2.1電阻率測試范圍：0.05～50000Ω?cm           
5.2.3.2.2可測半導體尺寸：無尺寸要求                 
5.2.3.2.3測量方式：縱向、斷面測量。       
5.2.3.2.4測量探針：采用ASTM F42標準中建議的不銹鋼作冷熱探針材料，針尖為60℃錐體，熱筆溫度自動保持在40 60℃范圍內，冷筆與室溫相同。整流法行選用硬質合金作探針。
5.2.3.2.5顯示方式：由顯示N和P的器件直接顯示，同時中心刻度為零位指示器也在指示型號，指針向左偏轉被測樣品為N型，指針向右偏轉被測樣品為P型。
5.2.3.2.6儀器電源：220V±10%，50HZ，功率消耗﹤20W

5.2.4、兩探針電阻率測試儀
5.2.4.1、設備的主要用途、功能及特點：
本設備主要用于硅材料電阻率的測試。
5.2.4.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.2.4.2.1電阻率測試范圍：0.001～10000Ω?cm
5.2.4.2.2可測硅芯尺寸：直徑4~15mm                 
5.2.4.2.3測量方式：縱向測量，電流可正反向測量。       
5.2.4.2.4整機測量精度：1-1000Ω?cm范圍內≤3%
5.2.4.2.5電壓表：兩個電壓表，可同時監視電流和電壓變化
A.量程0~199.99 mV
B.基本誤差±(0.004%讀數+0.01%滿度)
C.輸入阻抗﹥1000MΩ
D. 4 1/2位數字顯示，0～19999：
5.2.4.2.6恒流源：
A.電流輸出：直流電流0.001～100 mA連續可調，由交流電源供給
B.量程：0.01 mA，0.1 mA，1 mA，10 mA，100 mA五檔
C.恒流源精度：各檔均≤±0.05%
D.測量電流：可正反向測量
5.2.4.2.7兩探針測試探頭KDT-9
A.探頭間距1.59㎜    
B.探針機械游率：±0.3%
C.探針直徑0.8mm    
D.探針合力6±1N，探針壓痕直徑：25 -50μm
E.探針材料：碳化鎢，探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。
5.2.4.2.8測試架：KDZ-2B測細硅芯用，晶體最大可測長度：≈3米，可測直徑4-15 mm
探針頭沿晶體縱向移動距離：300mm。
5.2.4.2.9測量系統：KDY測量系統設計語言：VC++，可對四探針、兩探針電阻率測量數據進行處理并修正測量數據，特定數據存儲格式，顯示變化曲線。

5.2.5、X光定向儀（激光定向儀）
5.2.5.1、設備的主要用途、功能及特點：
本設備主要用于對硅材料晶向偏離度的檢測。
5.2.5.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.2.5.2.1. 使用條件:
5.2.5.2.1.1海拔不超過3000米；
5.2.5.2.1.2環境溫度+2°-- +30°C
5.2.5.2.1.3相對濕度不得大于70%,(如超過此濕度必須采取相應措施)；
5.2.5.2.1.4電源：單相交流220V、5A，電源電壓波動不大于±10%電源容量應不低于0.5KVA；
5.2.5.2.1.5有良好的接地裝置，接地電阻不應大于4Ω；
5.2.5.2.1.6 供電線路中不得有電焊機，高頻爐等設備引起的高頻和電弧干擾； 
5.2.5.2.2. 技術指標：      
5.2.5.2.2.1 X射線發生器部分：
  X射線管： 銅靶陽極接地，強迫風冷；管電壓：30KVP，全壓合閘；管電流：0--5mA，連續可調；
5.2.5.2.2.2整機總耗電功率不大于0.3KW；
5.2.5.2.2.3靈敏度不劣于30″；（用標準石英片1011）；適用于8英寸以下大棒晶體
5.2.5.2.2.4測角儀部分：
a. 蝸輪付運動誤差不大于30″； 
b. 角度最小讀值10″；
c. 計數器旋轉角度：-10°-- +100°；
d. 樣品旋轉角度：-10°--50°；
e. 狹縫：其發散度為4′、5′、6′三種，插入式；
f. 數字顯示：度、分、秒、最小讀數為10″。
5.2.5.2.2.5記錄部分：
a. 計數管：JBIX蓋革計數管工作電壓500--1100V
b. 時間常數：分1、2、3三檔。
5.2.5.2.2.6外型尺寸：1140（寬）×650（長）×1030（高）
5.2.5.2.2.7重量：200Kg

5.2.6、少子壽命測試儀 
5.2.6.1、設備的主要用途、功能及特點：
本設備主要用于提供快速、無接觸、無損傷的掃描測試平臺，基于微波光電導測試系統，檢測多晶硅塊少數載流子壽命。
5.2.6.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.2.6.2.1儀器測量范圍：
a.少子壽命測量范圍：1μS～10ms；晶體樣品（研磨面）電阻率下限≥0.1Ω?cm，尚未發現電阻率測量上限。
b.型號：N型或P型單晶或鑄造多晶。
5.2.6.3、儀器主要配置
5.2.6.3.1 光脈沖發生裝置
重復頻率＞15次/S ；脈寬≥10μS ；紅外光源長波長：1.06～1.08μm ；脈沖電流：5A～16A；紅外光源短波長：0.904～0.905μm ；脈沖電流：5A～16A
5.2.6.3.2高頻源 
頻率：30MHZ ；低輸出阻抗            輸出功率＞1W
5.2.6.3.3 放大器和檢波器
頻率響應：2HZ～2MHZ；放大倍數：30倍（約）
5.2.6.3.4 配用示波器
配用裝有自動測量少子壽命（光電導衰退時間）軟件的專用數字示波器：模擬帶寬60MHz，最大實時采樣率1GSa/S，垂直靈敏度2mv-5v/div，掃描范圍：2.5ns—50s/div，平均次數：4～256，可自動測量波形參數，亦可用手動光標直讀壽命。
5.2.6.3.5 標準配置接口：USB Device，USBHost，RS232，支持U盤存儲和PictBridge打印（詳見示波器說明書）。
5.2.6.3.6 儀器所配置的光源電極臺既可測縱向放置的單晶，亦可測量豎放單晶橫截面的壽命。配置增加了測量低阻樣片用的升降臺以及裝有特殊彈形電極的光源電極臺。
5.2.6.3.7 測試范圍：電阻率ρ≥0.3Ω?㎝，壽命0.25～10000μS

包三  ：技術參數和要求
5.3.1、區熔檢驗爐
5.3.1.1、設備的主要用途、功能及特點：
本套設備位于多晶硅后處理車間內，安裝環境潔凈級別為十萬級，其主要功能是多晶硅棒進行區熔檢測。
5.3.1.2、技術參數及指標（帶*者為必須具備指標）
5.3.1.2.1、原料規格：φ15×150mm
5.3.1.2.2、成品規格：φ12×200mm
5.3.1.2.3、加熱電源電壓：3相380VAC  5線
5.3.1.2.4、高頻感應加熱電源：2.3MHz(2.0~2.5 MHz)
5.3.1.2.5、開爐時真空度：≤6.67×10-3 Pa（硼檢爐）
                 ≤3Pa（磷檢爐）
5.3.1.2.6、上、下軸最大行程：350mm
5.3.1.2.7、上軸快速升/降：0~150mm/min連續可調
5.3.1.2.8、上軸慢速升/降：0.5~5mm/min（精度FS±3%）
5.3.1.2.9、下軸快速升/降：0~150mm/min連續可調
5.3.1.2.10、下軸慢速升/降：0.5~5mm/min（精度FS±3%）
5.3.1.2.11、上、下軸轉速：0~50rpm，正反轉可設定，5~50 rpm保證精度
5.3.1.2.12、真空泵：       2XZ-15D（磷檢爐）
真空機組（硼檢爐）
擴散泵：       JK-200
真空泵：       2XZ-15D
 5.3.1.2.13、上軸具有快速點拉、點壓開關，點動速度可以預置，點動時速度可調，點拉、點壓時，只對上軸起作用；上軸跟隨下軸運動，快速時跟隨比不可調，慢速時跟隨比可調（0.1～2），調協量為0.01，至少要達到0.27。
5.3.1.3、儀器配置
5.3.1.3.1、爐體
5.3.1.3.1.1上、下軸材料采用4Cr13，上、下軸采用水冷卻，爐室底部帶接渣盤。
5.3.1.3.1.2上軸具有快速點拉和點壓開關，電動速度可以預置，速度在0～150mm/min范圍內可調。上軸點拉或點壓時，只對上軸起作用。
5.3.1.3.1.3上軸跟隨下軸運動，運行中跟隨比不可調；跟隨中，上軸的點拉、點壓仍起作用。
5.3.1.3.1.4爐室內壁作精拋光處理，爐體外表面噴砂處理，制作完成作氣密性試驗。
5.3.1.3.1.5爐膛工作壓力：0.08Mpa。
5.3.1.3.2、調速控制系統
5.3.1.3.2.1設備的速度系統采用日本三洋公司直流伺服電機，速度控制器采用美國雷賽公司產品，減速器為臺灣生產。
5.3.3.1.2.2操作控制臺
    A、高頻在控制臺面板設置屏壓、屏流及相關按鈕以及功率調節按鈕。
    B、操作控制柜包括電源及報警，真空儀表、真空泵開關。
    C、控制柜面板：包括總電源開關、真空泵開關以及報警顯示等等。
    D、觸摸屏界面：包括上軸速度功率電源開關、慢速升/降開關、速度設定，上軸快速升/降開關、快速速度設定；點拉、點壓開關及速度設定；下軸提升速度功率電源開關、慢速升/降開關、快速升/降開關、快速速度設定；上下軸旋轉速度功率電源開關、速度設定等。
5.3.1.3.2.3調速控制系統有屏蔽、高頻濾波措施，提高抗干擾性，確保安全運行。
5.3.1.3.2.4控制柜面板采用不銹鋼材料
5.3.1.3.3、真空系統
5.3.1.3.3.1 真空泵：采用具有油霧清除功能的真空泵
5.3.1.3.3.2  冷爐真空度：≤6.67×10-3 Pa（硼檢爐）；
                ≤3Pa（磷檢爐）
5.3.1.3.3.3 真空球閥采用南京鼎業公司的產品
5.3.1.3.3.4、 高頻電源
    高頻電源由賣方負責定制。
5.3.1.4、設備公用工程條件
5.3.1.3.4.1、電源要求：
（1）控制柜電源：
電源電壓：         3相5線380V（±7%）
輸入功率：      10kW
（2）高頻電源：
       加熱電源電壓：       3相5線380V（±7%）
       高頻感應加熱電源：      2.3MHz(2.0~2.5MHz)
輸入功率：         50KVA
       輸出功率：         30kW
       化料規格：         Φ20×150mm
5.3.1.3.4.2、冷卻水要求：
水質應以軟水質循環供水為好，進、出水口管徑1.5"，需無壓回水。
其具體要求為：
壓力：                          ≥0.2MPa
流量：                          ≥5T/h/臺
進水溫度：                      32℃
水質：                          堿性，pH=7～9
含氯離子量：                    ≤10ppm
含碳酸鈣量：                    ≤50ppm(不加入化學試劑)
溶解氧量:                       ≤10mg/L
懸浮物:                         ≤10mg/L
設備在運行過程中絕對不允許間斷冷卻水，一旦間斷冷卻水，將對設備造成致命的損害，請用戶在設計冷卻系統時一定要考慮應急備用水的合理配置。避免冷卻水供給系統的振動對設備之影響。
5.3.1.3.4.3、抽空：
（1）真空度：≤3Pa(磷檢爐)；≤6.67×10-3 Pa(硼檢爐)
（2）抽空容積：90升
5.3.1.3.4.4、保護氣（磷檢爐）
（1）進氣管：3/8″，排氣管：3/8″，材質不銹鋼，
（2）壓力：0.02—0.08MPa
（3）流量計流量：5升/min.臺
5.3.1.5、供貨范圍
5.3.1.5.1、爐室部分：包括爐室，爐門等；
5.3.1.5.2、傳動部分：包括上軸升降及旋轉部分、下軸升降及旋轉部分等；
5.3.1.5.3、調速控制部分：包括工作臺、操作開關、顯示儀表等；
5.3.1.5.4、機架部分：鋼焊結構；
5.3.1.5.5、高頻電源；
5.3.1.5.6、真空部分：包括真空機組（硼檢爐）真空泵（磷檢爐）、真空球閥及管道等；
5.3.1.5.7、氬氣供氣系統：包括流量計、進出口閥門及與爐體接口等；
5.3.1.5.8、其它：包括水冷系統及操作和維修專用工具等；
5.3.1.6、高頻電源技術要求
5.3.1.6.1、概述
本機組位于潔凈實驗室內，其主要功能是為磷、硼檢爐提供高頻電源。
5.3.1.6.2、設備組成
該設備由高頻電源柜、高頻槽路柜、連接法蘭、高頻加熱線圈組成。
5.3.1.6.3、公用工程條件
（1）供電電源：  三相  AC380V   50HZ   50KVA
（2）循環冷卻水：水質：軟化水          供水水壓：≥0.2MPa
                     供水溫度：32℃        供水水量：≥30L/min
5.3.1.6.4、設備技術參數
（1）高頻加熱爐輸出功率 30KW
（2）高頻振蕩頻率2.3±0.2MHz
（3）外形尺寸及重量
名稱 外形尺寸（mm） 重量（Kg）
高頻電源柜 1350×800×1800 500
高頻槽路柜 600×750×635 100
5.3.1.6.5、設備特點及配置
賣方提供的區熔爐-硼檢爐、磷檢爐設備，包括：設備主機部分及電器控制部分。設備預留總進、出水口（其中包括高頻槽路兩路進、出水口）；預留氣路總進出口；高頻電源部分由賣方負責定制。
（1）設備抗干擾能力強，保證設備正常、穩定工作。
（2）陽極電壓連續可調，陽極電壓穩定精度：偏差≤±0.5%
（3）振蕩管燈絲電壓采用2級供電。
（4）振蕩管型號選用FU-307S。
（5）高頻振蕩電源采用并聯供電回路。
（6）三相電源采用濾波措施，避免高頻干擾。
（7）所采用的振蕩管、可控硅和控制板全部經過老化處理，確保元件穩定可靠。
（8）設備應有以下功能：欠壓、過流保護和報警、可控硅有過熱報警和保護、脈沖封鎖保護。
（9）各種控制板輸入電源都采用濾波措施。
（10）燈絲電源采用穩壓電源。
（11）柵極偏壓采用直接電感偶合。
（12）柵極電阻采用陶瓷電阻。
（13）移項控制板精度控制反饋信號從高壓整流后取得。
（14）高壓指示電壓從高壓整流后取得。
（15）過流信號采用電流互感器在低壓側獲取。
（16）設備符合10KV電源柜國家相關標準、高頻電源國家相關標準。
（17）高頻室與高壓調節部分在一個柜體內，槽路輸出部分為一個單獨的部分。
（18）交流調節部分的可控硅采用可控硅模塊。
（19）直流整流部分采用高壓硅堆整流。
（20）高壓變壓器采用干式變壓器。
（21）直流電源濾波采用Ⅱ型濾波。
（22）加熱偶合輸出變壓器采用8T/1T。
5.3.1.6.6、與磷檢爐、硼檢爐接口部分
（1）感應加熱線圈由賣方負責定制。
5.3.1.6.7、買方為本設備提供電、循環水、氬氣等公用工程，由賣方提出接口條件。

5.3.1.7、技術資料的提供
賣方應向買方提供滿足設計、監造、調試、檢驗、培訓、運行和維修所需的技術資料，具體包括電氣原理圖、設備外形圖、地基圖、平面布置圖以及與設備相關的接口尺寸要求等。買方需要的有關廠房設計、規劃等其他方面的數據要求及圖紙，可再行與賣方溝通，賣方應積極配合。
5.3.1.8、備件提供
5.3.1.8.1、隨機備件：每臺設備提供隨機備件1套。
5.3.1.8.2、隨機附件：每臺設備提供隨機附件1套。
5.3.1.8.3、隨機工具：每批次設備提供隨機工具1套。
二、付款方式：合同簽訂生效后的15個工作日內撥付60%，全部設備安裝集成調試，通過驗收或計量檢定合格，進入正常試運行后的10個工作日內支付合同金額的 35 %，剩余的5 %作為質量保證金，質保期一年滿后一次性支付。
三、交貨時間：要求中標商簽訂合同后80天內交貨，并驗收檢定合格，并投入試運行。
四、售后服務要求
1、儀器到達最終用戶使用現場后，儀器公司將提供免費的現場安裝、現場調試服務，并對用戶進行免費現場培訓。
2、自驗收合格之日起，儀器提供1年的免費保修期。保修期內，非人為因素引起的故障，儀器公司將提供免費維修服務。保修期后，提供終身維修。    3、 設備生產商接到用戶報修電話，應在接到采購人通知后2小時內響應，并派技術人員通過電話等遠程診斷方式對故障作出判斷，并予以解決。使用中如出現重大緊急故障，供方將在接到買方通知后8小時內提供解決方案，3個工作日內派技術人員到達現場并解決問題。    4、儀器所使用的軟件，儀器公司提供免費終身升級，與之相關的硬件升級僅收取成本費用。    5、儀器公司將為該產品在中國境內的用戶提供不定期的培訓和應用方面的技術交流會，幫助用戶提高儀器操作和應用技術水平。