PECVD沉積系統招標公告

根據《中華人民共和國招標投標法》等有關法律、法規的規定，本招標項目有關設備（下稱招標設備）已具備招標條件，向社會進行公開招開。現就相關情況做如下公告。
1. 項目概況與招標內容
1.1項目編號： CDSB2011073
1.2項目名稱： PECVD沉積系統
1.3項目內容：
PECVD沉積系統 技術規格書
（星號部分為必須的關鍵技術要求，投標標書必須滿足）

1、系統包括石英真空室、真空抽氣與真空測量系統、氣路系統、射頻電源系統、壓力控制系統、發泡系統、電氣系統、控制系統。

2、石英真空室包括兩個：
2.1 第一個為外徑9.5mm，內徑6.4mm,長45mm。通過雙卡套密封與不銹鋼管道連接
2.2 第二個為外徑127mm，高71mm，壁厚4mm。通過兩個圓形不銹鋼板密封形成封閉腔室
2.3 使用氣煉高純石英玻璃。

3、真空抽氣與真空測量系統：
3.1 真空抽氣系統由分子泵、電動插板閥、機械泵構成、復合真空計構成。
3.2 復合真空計規管裝設于下沉積室的上蓋板。
* 3.3 分子泵抽氣速率不低于100升/分。
* 3.4 分子泵應選用中科科儀生產的或進口產品
* 3.5 極限真空度5.0×10-4Pa

4、壓力控制系統：
4.1 由與抽氣管道平行的旁路系統、快速響應的通徑調節閥門、電容式薄膜真空計構成。
4.2 電容式薄膜真空計裝設于下沉積室的上蓋板。
*4.3 選用進口電容式薄膜真空計(德國INFICON,型號CDG025-X3，或相同類型的進口產品)，標定測量范圍0.1Pa-1333Pa。
4.4 工作壓力可以通過主控計算機進行軟件預設，工作壓力控制精度不低于1%，調節跟蹤響應時間不長于0.1秒，穩定控制時間不短于30分鐘，腔室所需壓力由控制系統軟件預設。

5、射頻電源系統：
*5.1 包括兩套頻率為13.56MHz的功率不低于300W的射頻電源
*5.2 國外大廠生產，原產進口
*5.3 電源系統輸出功率穩定性≦±0.5%，長期穩定性≦±1%。
*5.4 功率調節分辨率1W或更小。
*5.5 射頻電源可以工作于恒壓、恒流、恒功率等模式。
*5.6 帶功率自動匹配。
*5.7 可以通過主控計算機對兩套電源分別進行控制，設定工作模式，調節功率大小。

6、氣路系統：
6.1 配置4個氣路
6.2 每個氣路均包含截止閥、質量流量控制器及控制電源。
*6.3 氣路1、氣路2選用進口（如英國warwick，美國MKS等）抗腐蝕（耐硅烷腐蝕）的質量流量控制器，流量在0－100SCCM間可調。氮氣標定
*6.4 氣路3、氣路4選用國內名牌大廠（如七星華創）生產的的質量流量控制器，流量在0－200SCCM間可調。氮氣標定

7、發泡系統
7.1 包含氣路4和發泡鋼瓶、閥門管道等
7.2 鋼瓶容積不小于0.5升
7.3 鋼瓶應具有卸壓閥門，耐壓0.5大壓

8、電氣系統及控制系統
8.1 標準電氣控制柜，配帶平面顯示的主控計算機
8.2 控制系統有系統工作框圖，能夠通過顯示器觀察記錄設備（包括分子泵、射頻電源、質量流量控制器等）的工作狀態，閥門的開、閉狀態
8.3 具備各種互鎖功能，保護分子泵以及其它需要聯動操作的設備。

*9、各種真空管道，閥門，腔室不銹鋼蓋板、發泡鋼瓶等均需使用進口耐腐蝕不銹鋼（如奧氏體不銹鋼，1Crl8Ni9Ti或類似型號），并在標書中明確說明選用的材料型號及制造廠商。



1.4項目范圍： 見招標文件
2. 投標人資格要求
1、在中國境內注冊并具有獨立法人資格的合法企業；
2、具有良好的商業信譽和健全的財務會計制度；
3、具有履行合同所必須的設備和專業技術能力；
4、具有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
5、參加本次采購活動前三年內，在經營活動中沒有重大違法違規記錄；
6、采購項目要求的特殊資格性條件(詳見招標項目及要求)。
3. 招標文件的獲取
3.1 凡有意參加投標者，請于2011年10 月21日至2011年10月27日（法定公休日、法定節假日除外），每日上午9時至11時，下午15時至17時（北京時間，下同），在 成都市一環路南一段二十號四川大學行政樓206室持公司營業執照復印件加蓋公章、單位介紹信加蓋公章購買招標文件。外地投標商需在2011年10月27日17點前將購買標書的費用轉入四川大學賬號，并將轉賬憑證、公司營業執照、單位介紹信、購買標號、聯系電話***
3.2 招標文件每套售價200元，售后不退。
3.3本次招標公告同時在四川大學設備處網上發布。
4. 投標文件的遞交
4.1 投標文件遞交的時間為：2011年10月28日09時至11時，遞交投標文件的截止時間（投標截止時間，下同）為2011年10月28日11時，地點為成都市一環路南一段二十四號四川大學行政樓206室。
4.2 逾期送達的或者未送達指定地點的投標文件，招標人不予受理。
5. 開標時間及地點
5.1 開標時間地點電話通知，開標時請參與投標方準時派員出席，每一投標單位限3名以內代表參加。開標時，允許各投標人有五分鐘的口頭補充表述(也可以放棄)。
6. 聯系方式***
招 標 人：四川大學 地 址：***
聯 系 人***
電 話：028-85406315 傳 真：***
戶 名：四川大學
開戶銀行：工行芷泉支行四川大學分理處
賬 號：4402217009008944562