中國科學院上海微系統與信息技術研究所高深寬比納米薄膜沉積系統公開招標公告

項目概況

中國科學院上海微系統與信息技術研究所高深寬比納米薄膜沉積系統 招標項目的潛在投標人應在上海市共和新路1301號C座108室獲取招標文件，并于2020年10月19日 09點30分（北京時間）前遞交投標文件。

一、項目基本情況

項目編號：STC20A280

項目名稱：中國科學院上海微系統與信息技術研究所高深寬比納米薄膜沉積系統

預算金額：190.0000000 萬元（人民幣）

最高限價（如有）：190.0000000 萬元（人民幣）

采購需求：

二維IC工藝和三維MEMS加工而成的異質集成的傳感器表面會有各種臺階、高深寬比的孔洞、槽等結構，需要臺階覆蓋能力強的薄膜沉積技術。此外，由于材料晶格結構、熱膨脹系數的差異，異質集成的襯底不可避免的會出現翹曲，需要保形薄膜沉積技術；圓片級的異質集成封裝涉及各種襯底，需要一種新的低溫鍵合技術。高深寬比納米薄膜沉積系統的主要功能為：（1）具有三維保形薄膜沉積能力，具有良好的臺階覆蓋能力，能在高深寬比的孔洞中進行薄膜沉積；（2）以沉積的納米薄膜為媒介能實現封裝蓋板和各種異質集成襯底之間的低溫鍵合；（3）對200mm晶圓，薄膜厚度不均勻性小于±1%。具體詳見招標文件第八章。

合同履行期限：合同簽訂后6個月內。

本項目( 不接受  )聯合體投標。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

節約能源、保護環境、扶持不發達地區和少數民族地區、促進中小企業發展、支持監獄、戒毒企業發展、促進殘疾人就業、優先采購貧困地區農副產品等政府采購政策。

3.本項目的特定資格要求：1）近三年內（本項目招標截止期前）被“信用中國”網站列入失信被執行人和重大稅收違法案件當事人名單的、被“中國政府招標網”網站列入政府招標嚴重違法失信行為記錄名單（處罰期限尚未屆滿的），不得參與本項目；2）單位負責人***

三、獲取招標文件

時間：2020年09月26日  至 2020年10月09日，每天上午9:00至11:30，下午13:00至16:30。（北京時間，法定節假日除外）

地點：上海市共和新路1301號C座108室

方式：網上購買或現場購買（詳見特別告知）

售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和

四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點

提交投標文件截止時間：2020年10月19日 09點30分（北京時間）

開標時間：2020年10月19日 09點30分（北京時間）

地點：上海市共和新路1301號C座1樓會議室

五、公告期限

自本公告發布之日起5個工作日。

六、其他補充事宜

現場購買：有意向的投標人可攜帶報名表（詳見招標公告附件）、營業執照復印件（加蓋公章）、法人代表授權書原件、被授權代表身份證（復印件加蓋公章））至上海市共和新路1301號C座108室進行報名購買招標文件。

 網上購買：有意向的投標人將報名表（詳見招標公告附件）、營業執照掃描件、法定代表人（單位負責人***

招標文件售價：每包件售價人民幣 500 元（招標文件售后不退）。

注：我公司只接受公司轉賬，不接受個人轉賬。

開戶名：上海中招招標有限公司

開戶銀行：中國民生銀行上海虹橋支行

銀行帳號：0208014210004789

摘要：STC20A280標書費或投標保證金

七、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯系。

1.采購人信息

名 稱：中國科學院上海微系統與信息技術研究所　　　　　

地址：***

聯系方式***

2.采購代理機構信息

名 稱：上海中招招標有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：***

聯系方式***

3.項目聯系方式

項目聯系人***

電　話：***