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反應(yīng)離子刻蝕機(RIE)競價公告-CB119872021000374

信息發(fā)布日期：2021.08.15 標(biāo)簽：江蘇省招標(biāo)

招標(biāo)編號：	CB119872021000374
加入日期：	2021.08.15
截止日期：	2021.08.18
招標(biāo)業(yè)主：	南京信息工程大學(xué)
地區(qū)：	江蘇省
內(nèi) 容：	基本信息：發(fā)布時間：**-- :: 截止時間：**-- :: 申購單號：*************** 申購主題：反應(yīng)離子刻蝕機(RIE) 采購單位：****** 報價要求：國產(chǎn)含稅發(fā)票類型：增值稅專用發(fā)票幣種：人民幣預(yù)算：付款方式：

招標(biāo)公告正文

基本信息：

發(fā)布時間：2021-08-15 08:01:21

截止時間：2021-08-18 08:09:20

申購單號：CB119872021000374

申購主題：反應(yīng)離子刻蝕機(RIE)

采購單位：南京信息工程大學(xué)

報價要求：國產(chǎn)含稅

發(fā)票類型：增值稅專用發(fā)票

幣種：人民幣

預(yù)算：

付款方式：貨到驗收合格后付款

備注說明：H-2021-0028

簽約時間：發(fā)布中標(biāo)結(jié)果后7天內(nèi)簽約合同

送貨時間：合同簽訂后60天內(nèi)送達

安裝要求：免費上門安裝（含材料費）

收貨地址：***

申購明細：

采購內(nèi)容	數(shù)量	單位	預(yù)算單價	品牌	型號	規(guī)格參數(shù)	質(zhì)保及售后服務(wù)
反應(yīng)離子刻蝕機	1	臺				1.具有可調(diào)功率（0-500W）、氣體流量可調(diào)（4路氣體可獨立控制O2、Ar、SF6、CHCl3）等能力； 2.樣片數(shù)量及尺寸：單片Ф6英寸以上； 3. 刻蝕材料：包括并不限于單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等； 4. 刻蝕腔體：高真空系統(tǒng)，抽真空40min能達到8x10E-4Pa,極限真空到9*10E-5Pa， 5.系統(tǒng)漏率，關(guān)機后10小時，腔內(nèi)真空度小于5Pa； 6. 刻蝕不均勻性：±3%-±6% 7. 刻蝕速率：0.1-2μm/min（視具體材料與工藝） 8. 工作臺：可升降（可選，有最好），包含水冷； 9. 電源配置：下電極偏壓，包含自動匹配器； 10. 操作模式：全自動+半自動控制，能自動控制保持腔內(nèi)氣壓在設(shè)定工作氣壓； 11. 報價包括：系統(tǒng)及附屬配件，即安裝好就能夠正常工作。	3年質(zhì)保。

報價地址：***

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