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接觸式探針輪廓儀（ZBZXJJ20220118）采購公告
- 信息發(fā)布日期：2022.04.22 標(biāo)簽： 四川省招標(biāo)
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加入日期： 2022.04.22 地 區(qū)： 四川省 內(nèi) 容： 項目名稱接觸式探針輪廓儀項目編號ZBZXJJ******** 公告開始日期****-**-** **:**:**公告截止日期****-**-** **:**:** 采購單位**大學(xué)付款方式進(jìn)口設(shè)備： 甲方與所委托的進(jìn)口代理公司簽訂代理進(jìn)口委托協(xié)議后，將進(jìn)口項目貨款支付給代理公司指定的銀行賬 -
招標(biāo)公告正文
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項目名稱 接觸式探針輪廓儀 項目編號 ZBZXJJ20220118 公告開始日期 2022-04-18 11:42:43 公告截止日期 2022-04-21 12:00:00 采購單位 四川大學(xué) 付款方式 進(jìn)口設(shè)備： 甲方與所委托的進(jìn)口代理公司簽訂代理進(jìn)口委托協(xié)議后，將進(jìn)口項目貨款支付給代理公司指定的銀行賬戶，項目貨款僅用于本進(jìn)口項目的信用證或TT付匯及進(jìn)口相關(guān)費用等。進(jìn)口代理公司收到甲方合同貨款后，按外貿(mào)合同要求及時履行與乙方委托的境外代理公司的付款義務(wù)。 國產(chǎn)設(shè)備：甲方應(yīng)在完成驗收并建立固定資產(chǎn)后向乙方一次性支付本合同的總款項，乙方須向甲方出具合法有效完整的完稅發(fā)票及憑證資料進(jìn)行支付結(jié)算。 聯(lián)系人*** 中標(biāo)后在我參與的項目中查看 聯(lián)系電話*** 中標(biāo)后在我參與的項目中查看 簽約時間要求 到貨時間要求 成交后90個工作日內(nèi) 預(yù)算總價 ￥ 290,000.00 收貨地址 一環(huán)路南一段24號四川大學(xué)望江校區(qū) 供應(yīng)商資質(zhì)要求 符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件采購清單1采購商品 采購數(shù)量 計量單位 所屬分類 接觸式探針輪廓儀 1 臺 電工器材 品牌 Bruker 型號 Dektak-XT 預(yù)算單價 ￥ 290,000.00 技術(shù)參數(shù)及配置要求 1、儀器功能及用途：
主要應(yīng)用于4-6英寸晶圓的薄膜厚度測量、表面形貌測量、應(yīng)力測量和平整度等精密測量。
2、技術(shù)指標(biāo)和性能要求：
★2.1產(chǎn)品規(guī)格：晶圓尺寸，支持100-150mm。
2.2測試工藝
★2.21垂直分辨率：1 ？（在6.5um范圍內(nèi)，以2um半徑探針驗收。）
★2.22測試高度方向的重復(fù)性：1σ≤4 ？）（1σ在1μm標(biāo)準(zhǔn)臺階樣品上，使用半徑2μm探針，重復(fù)測量30次驗收）。
★2.23設(shè)備核心傳感器：電感傳感器或者采用成熟的LVDT傳感器原理
3、硬件指標(biāo)：
3.1樣品臺
3.11尺寸：4-8寸可選。
3.12XY行程：100mm*100mm。
3.13掃描長度：50μm-55mm。
3.14最大掃描數(shù)據(jù)點：120000個。
3.15掃描速度：1μm -1500μm/s。
3.2探針偵測系統(tǒng)
3.21探針壓力范圍：1mg-15mg可調(diào)。
3.22垂直測量范圍：可達(dá)1mm。
★3.23探針校準(zhǔn)：設(shè)備可通過校準(zhǔn)治具自行完成校準(zhǔn)。
★3.3光學(xué)系統(tǒng)：310萬像素真彩高清光學(xué)CCD攝像頭，可放大倍率
3.4軟件
3.41自動臺階檢測軟件：自動水平調(diào)整，自動檢測臺階，自動測量臺階高度和多重臺階數(shù)據(jù)綜合對比。
3.42應(yīng)力測試軟件：應(yīng)力測試功能。
4、主要配置要求
4.1 主機基本配置
4.1.1 處理器： 64位雙核并行處理器；
4.1.2 CPU內(nèi)存4G，硬盤500G；
4.1.3 操作系統(tǒng)：windows 10或以上；
4.1.4具備存儲功能及數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能。
4.2 顯示系統(tǒng)
23＂（或以上）LCD顯示器
4.3 設(shè)備附屬備件
4.3.1校準(zhǔn)件一個，含校正證書；
4.3.2半徑2um探針1根；
*4.3.3探針快速更換配件；
4.4 安全性
*設(shè)備各種安全互鎖功能完善，包括但不限于漏電保護(hù)功能、漏水保護(hù)功能、腔體過溫保護(hù)功能等。
4.5 動力要求
設(shè)備高度：不超過2.8米；
電力模式要求：三相五線制，3Ф208V50HZ/3Ф380V50HZ;單項三線制，220V50HZ/110V50HZ;
主機工藝?yán)鋮s水：（PCW）壓力不超過7kg/cm2 。進(jìn)水溫度在19±2℃；
壓縮空氣：壓力不超過115psi。
真空負(fù)壓：不超過-7.5bar。
4.5其他要求
設(shè)備廠商應(yīng)明確設(shè)備其他特殊需求，如環(huán)境、振動、噪聲、接地等，建議配置減震臺。售后服務(wù) 服務(wù)年限:12月;電話支持:7x24小時;商品承諾:原廠全新未拆封正品;質(zhì)保期:一年;1. 投標(biāo)方提供的設(shè)備質(zhì)保期為1年。質(zhì)保期起始于設(shè)備完成調(diào)試驗收。損壞的質(zhì)保備件造成的設(shè)備無法使用，該備件的質(zhì)保期順延，不包含探針。2. 質(zhì)保期內(nèi)，設(shè)備關(guān)鍵部件損壞更換連續(xù)2次以上，視同設(shè)備存在質(zhì)量問題，用戶保留追訴的權(quán)利，不包含探針。3. 質(zhì)保期內(nèi)，設(shè)備廠商負(fù)責(zé)非易耗品及非易損件的提供以及人力的開支。4. 維修響應(yīng)時間質(zhì)保期內(nèi)，設(shè)備如有故障，要求供應(yīng)商24小時內(nèi)電話響應(yīng)，如有必要，72小時內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場解決問題。5. 軟件升級所有測試軟件為原廠正版，終身軟件免費升級; 四川大學(xué)2022-04-18 11:42:43
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